| 第一章 绪论 | 第1-13页 |
| 1． 1 光纤传感器的发展简史及研究状况 | 第8-9页 |
| 1． 2 半导体吸收型光纤温度传感器的基本概念和研究状况 | 第9-11页 |
| 1． 3 本文的研究重点及章节安排 | 第11-13页 |
| 第二章 半导体材料光吸收基本原理 | 第13-20页 |
| 2． 1 半导体的光学常数 | 第13-14页 |
| 2． 2 半导体的光吸收 | 第14-15页 |
| 2． 3 直接跃迁和间接跃迁 | 第15-18页 |
| 2． 4 禁带宽度和温度的关系 | 第18-20页 |
| 第三章 单晶硅吸收型光纤温度传感器 | 第20-26页 |
| 3． 1 单晶硅吸收型光纤温度传感器原理 | 第20-21页 |
| 3． 2 单晶硅的透射率理论分析 | 第21-23页 |
| 3． 3 单晶硅吸收型光纤温度传感器系统结构 | 第23-26页 |
| 第四章 单晶硅薄膜的制备 | 第26-47页 |
| 4． 1 与已有的单晶硅薄膜制作方法进行比较 | 第26-27页 |
| 4． 2 微机械加工技术简介 | 第27-28页 |
| 4． 3 硅材料的刻蚀技术 | 第28-29页 |
| 4． 4 硅材料湿法各向异性腐蚀 | 第29-31页 |
| 4． 5 KOH溶液各向异性腐蚀 | 第31-35页 |
| 4． 6 其他工艺步骤简介 | 第35-42页 |
| 4． 7 增透膜设计 | 第42-44页 |
| 4． 8 制备步骤及结果 | 第44-47页 |
| 第五章 单晶硅吸收型光纤温度传感器的研制 | 第47-61页 |
| 5． 1 器件简介 | 第47-51页 |
| 5． 2 温度传感器的制作 | 第51-55页 |
| 5． 3 测试电路和光源稳流电路设计 | 第55-61页 |
| 第六章 实验与分析 | 第61-69页 |
| 6． 1 实验测试 | 第61-64页 |
| 6． 2 传感器的特性与指标 | 第64-65页 |
| 6． 3 系统改进方案及实验结果 | 第65-67页 |
| 6． 4 系统改进提议 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-71页 |