| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 第一章 文献综述 | 第11-29页 |
| ·纳米SiO_2 | 第11-14页 |
| ·纳米SiO_2结构及特性 | 第11-12页 |
| ·纳米SiO_2应用 | 第12-13页 |
| ·纳米SiO_2制备研究现状 | 第13-14页 |
| ·SiO_2CMP抛光液 | 第14-16页 |
| ·CMP技术概述 | 第14-15页 |
| ·SiO_2 CMP抛光液研究现状 | 第15-16页 |
| ·复合微粒研究与发展 | 第16-22页 |
| ·复合微粒简介 | 第16-17页 |
| ·复合微粒形成机理与制备方法 | 第17-21页 |
| ·复合微粒特性、应用及发展 | 第21-22页 |
| ·纳米粉体分散研究进展 | 第22-26页 |
| ·分散机理 | 第22-25页 |
| ·分散技术 | 第25-26页 |
| ·本文研究的目的、意义及内容 | 第26-29页 |
| 第二章 SiO_2微粒化学沉淀法合成及表征 | 第29-40页 |
| ·实验方法 | 第29-33页 |
| ·实验试剂及仪器 | 第29页 |
| ·样品合成 | 第29-32页 |
| ·样品表征 | 第32-33页 |
| ·实验结果与讨论 | 第33-39页 |
| ·正交试验分析 | 第33页 |
| ·表面活性剂CTAB的影响 | 第33-34页 |
| ·DSC/TG分析 | 第34-35页 |
| ·XRD分析 | 第35-36页 |
| ·IR分析 | 第36页 |
| ·TEM分析 | 第36页 |
| ·BET分析 | 第36-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第三章 SiO_2微粒溶胶-凝胶法合成及表征 | 第40-47页 |
| ·实验方法 | 第40-41页 |
| ·实验试剂和仪器 | 第40页 |
| ·样品合成 | 第40-41页 |
| ·样品表征 | 第41页 |
| ·实验结果与讨论 | 第41-46页 |
| ·激光粒度分析 | 第41-44页 |
| ·DSC/TG分析 | 第44页 |
| ·XRD分析 | 第44页 |
| ·IR分析 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 核壳型SiO_2/CeO_2复合微粒合成及其分散性能 | 第47-76页 |
| ·实验方法 | 第47-51页 |
| ·实验试剂和仪器 | 第47页 |
| ·样品合成 | 第47-51页 |
| ·样品表征 | 第51页 |
| ·实验结果及讨论 | 第51-74页 |
| ·正交试验分析 | 第51-54页 |
| ·核壳型SiO_2/CeO_2复合微粒表征 | 第54-60页 |
| ·核壳型SiO_2/CeO_2复合颗粒分散性能 | 第60-74页 |
| ·本章小结 | 第74-76页 |
| 第五章 混合型SiO_2-CeO_2复合微粒合成及其分散性能 | 第76-84页 |
| ·实验方法 | 第76-78页 |
| ·实验试剂和仪器 | 第76页 |
| ·样品合成 | 第76-78页 |
| ·样品表征 | 第78页 |
| ·实验结果及讨论 | 第78-83页 |
| ·混合型SiO_2-CeO_2复合微粒表征 | 第78-81页 |
| ·混合型SiO_2-CeO_2复合微粒分散性能 | 第81-83页 |
| ·本章小结 | 第83-84页 |
| 第六章 结论 | 第84-86页 |
| 参考文献 | 第86-95页 |
| 致谢 | 第95-96页 |
| 攻读硕士学位期间的主要成绩 | 第96-97页 |