50LPM激光尘埃粒子计数传感器的研制

摘要	第1-4页
Abstract	第4-7页
1 绪论	第7-14页
·洁净室的概念及应用	第7-8页
·洁净室洁净度等级标准	第8-10页
·尘埃粒子计数器的应用及发展状况	第10-13页
·尘埃粒子计数器的应用	第10页
·尘埃粒子计数器的发展状况	第10-11页
·研制采样流量为50LPM的粒子计数器的意义	第11-13页
·本文主要研究内容	第13-14页
2 光散射法激光尘埃粒子计数传感器的设计原理	第14-23页
·尘埃粒子计数器的工作原理	第14-15页
·尘埃粒子计数传感器的基本结构	第15页
·尘埃粒子计数器的性能参数	第15-17页
·尘埃粒子计数传感器结构的设计要求	第17-22页
·激光照明系统的设计要求	第17-20页
·采样气流系统的设计要求	第20-21页
·散射光收集系统的设计要求	第21-22页
·本章小结	第22-23页
3 50LPM激光尘埃粒子计数传感器的改进	第23-38页
·提高采样流量对计数器其他性能的影响	第23-24页
·提高激光尘埃粒子计数传感器采样流量的方案	第24-25页
·照明光路系统的改进	第25-29页
·照明光路的改进	第25-27页
·光陷阱及光阑的改进	第27-29页
·采样气流系统的改进	第29-30页
·散射光收集系统的改进	第30-31页
·散射光收集形式的介绍	第30-31页
·光电探测器的选择	第31页
·光敏区尺寸的确定	第31-37页
·实验方法及仪器	第31-32页
·实验结果及分析	第32-37页
·本章小结	第37-38页
4 50LPM激光尘埃粒子计数传感器的性能检测	第38-44页
·尘埃粒子脉冲信号幅度分布	第38-41页
·实验方法及仪器	第38页
·实验结果及分析	第38-41页
·与仪器LASAIR Ⅲ的对比实验	第41-43页
·实验仪器	第41页
·实验结果及分析	第41-43页
·本章小结	第43-44页
5 总结与展望	第44-46页
·总结	第44-45页
·展望	第45-46页
致谢	第46-47页
参考文献	第47-49页