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多电极集成式石英力敏谐振器集群敏感机理研究

摘要第5-7页
Abstract第7-8页
符号说明第12-14页
第一章 绪论第14-28页
    1.1 引言第14页
    1.2 石英晶体谐振器第14-20页
        1.2.1 石英晶体及性质第14-16页
        1.2.2 石英谐振器的工作原理第16-20页
    1.3 石英谐振器力频特性及其应用第20-23页
    1.4 石英谐振器力敏特性及力敏传感器的研究现状第23-26页
    1.5 论文的任务第26-28页
第二章 晶体的能陷理论及石英谐振器集群的有限元分析第28-44页
    2.1 引言第28页
    2.2 能陷理论第28-30页
    2.3 谐振能量的分布第30-34页
        2.3.1 非电极区能量的分布方程第30-31页
        2.3.2 能量分布方程的求解第31-34页
    2.4 石英谐振器集群的有限元分析第34-43页
        2.4.1 石英晶体谐振器振动模型第34-35页
        2.4.2 单电极石英谐振器的有限元分析第35-40页
        2.4.3 石英谐振器集群的有限元分析第40-43页
    2.5 小结第43-44页
第三章 石英谐振器集群的参数设计及性能测试第44-62页
    3.1 引言第44页
    3.2 石英晶体谐振器的谐振特性第44-45页
    3.3 石英晶体谐振器的阻抗-频率特性第45-48页
    3.4 厚度剪切的石英谐振器的频谱特性第48-49页
    3.5 石英谐振器集群设计第49-53页
        3.5.1 石英谐振器主要参数的设计第49-51页
        3.5.2 四电极石英谐振器集群第51-52页
        3.5.3 六电极石英谐振器集群第52-53页
    3.6 谐振器集群性能测试第53-61页
        3.6.1 电气参数测试第53-56页
        3.6.2 频率稳定性测试第56-58页
        3.6.3 频温特性测试第58-61页
    3.7 小结第61-62页
第四章 圆盘式石英谐振器集群力频敏感特性第62-76页
    4.1 引言第62页
    4.2 圆盘式石英谐振器的应力分布第62-67页
    4.3 数值计算第67-69页
    4.4 应力分布有限元方法分析第69-70页
    4.5 石英谐振器集群力频特性第70-72页
    4.6 实验研究及分析第72-74页
    4.7 小结第74-76页
第五章 石英晶体谐振器集群的信号处理与融合第76-93页
    5.1 引言第76页
    5.2 总体方案设计第76-77页
    5.3 振荡器的设计第77-79页
    5.4 差频电路的设计第79-82页
    5.5 倍频电路的设计第82-85页
    5.6 信号采集与融合第85-88页
    5.7 实验测试第88-91页
    5.8 小结第91-93页
第六章 石英晶体谐振器集群的应用研究第93-116页
    6.1 引言第93页
    6.2 基于石英谐振器集群的倾角传感器第93-103页
        6.2.1 倾角传感器结构设计第93-95页
        6.2.2 倾角传感器信号处理与融合第95-96页
        6.2.3 倾角传感器实验研究及分析第96-103页
    6.3 基于石英谐振器集群的加速度传感器第103-115页
        6.3.1 加速度传感器结构设计第103-105页
        6.3.2 加速度传感器实验研究及分析第105-115页
    6.4 小结第115-116页
第七章 总结第116-120页
    7.1 论文的主要结论第116-118页
    7.2 论文的创新点第118-119页
    7.3 进一步研究的建议第119-120页
参考文献第120-127页
附录1 石英晶体谐振能量分布方程MATLAB求解算法程序第127-129页
附录2 圆盘式AT切石英晶体受径向力作用下的应力分布数值解的MATLAB程序第129-134页
附录3 倾角传感器实验测试数据第134-140页
致谢第140-141页
攻读学位期间发表的学术论文目录第141-142页

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