| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-32页 |
| 1.1 前言 | 第12页 |
| 1.2 金刚石的结构特征、性质及应用领域 | 第12-19页 |
| 1.2.1 金刚石的晶体结构 | 第12-13页 |
| 1.2.2 电学性能及运用 | 第13-14页 |
| 1.2.3 光学性能及应用 | 第14-15页 |
| 1.2.4 声学性能及应用 | 第15-17页 |
| 1.2.5 力学性能及应用 | 第17-18页 |
| 1.2.6 其他领域的应用 | 第18-19页 |
| 1.3 单晶金刚石的分类 | 第19-23页 |
| 1.3.1 HTHP种晶 | 第19-21页 |
| 1.3.2 CVD种晶 | 第21-22页 |
| 1.3.3 天然金刚石 | 第22-23页 |
| 1.4 CVD金刚石的研究近况 | 第23-29页 |
| 1.4.1 微波等离子体CVD技术的优势 | 第23-24页 |
| 1.4.2 单晶金刚石的研究回顾 | 第24-25页 |
| 1.4.3 单晶金刚石的扩大生长问题 | 第25-27页 |
| 1.4.4 减小单晶金刚石应力的方法 | 第27-29页 |
| 1.5 选题的主要意义及研究内容 | 第29-32页 |
| 第2章 实验装置及表征 | 第32-40页 |
| 2.1 实验装置 | 第32-35页 |
| 2.1.1 单晶金刚石的生长装置 | 第32-34页 |
| 2.1.2 单晶金刚石的机械抛光装置 | 第34页 |
| 2.1.3 单晶金刚石的激光切割装置 | 第34-35页 |
| 2.2 表征手段 | 第35-40页 |
| 2.2.1 激光拉曼光谱 | 第35-36页 |
| 2.2.2 金相显微镜 | 第36页 |
| 2.2.3 等离子体发射光谱 | 第36-38页 |
| 2.2.4 扫描电子显微镜 | 第38页 |
| 2.2.5 X射线摇摆曲线 | 第38-40页 |
| 第3章 单晶金刚石的应力分析 | 第40-56页 |
| 3.1 引言 | 第40页 |
| 3.2 CVD种晶的预处理 | 第40-41页 |
| 3.3 温度对同质外延生长单晶金刚石的影响 | 第41-47页 |
| 3.3.1 不同温度下的拉曼光谱图 | 第41-42页 |
| 3.3.2 不同温度下的发射光谱图 | 第42-45页 |
| 3.3.3 缺陷点对单晶金刚石应力的影响 | 第45-47页 |
| 3.4 微量氮气的掺入对生长单晶金刚石的影响 | 第47-52页 |
| 3.4.1 氮气浓度对单晶金刚石生长速率的影响 | 第47-50页 |
| 3.4.2 氮气浓度对单晶金刚石应力的影响 | 第50-51页 |
| 3.4.3 氮气的掺入对单晶金刚石表面形貌的影响 | 第51-52页 |
| 3.5 种晶质量对单晶金刚石应力的影响 | 第52-54页 |
| 3.6 本章小结 | 第54-56页 |
| 第4章 无裂纹大尺寸单晶金刚石的制备 | 第56-70页 |
| 4.1 引言 | 第56页 |
| 4.2 等离子体退火对单晶金刚石应力的影响 | 第56-62页 |
| 4.2.1 掺氮对单晶金刚石退火的影响 | 第56-59页 |
| 4.2.2 等离子体退火时间对单晶金刚石应力的影响 | 第59-61页 |
| 4.2.3 等离子体退火对表面形貌的影响 | 第61-62页 |
| 4.3 单晶金刚石后续切割处理 | 第62-68页 |
| 4.3.1 激光切割对单晶金刚石的影响 | 第62-66页 |
| 4.3.2 单晶金刚石经完美切割的实例 | 第66-68页 |
| 4.4 本章小结 | 第68-70页 |
| 第5章 全文总结与展望 | 第70-74页 |
| 5.1 论文总结 | 第70-72页 |
| 5.2 论文展望 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-80页 |
| 攻读硕士期间已发表的论文 | 第80-82页 |
| 致谢 | 第82页 |