| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 图表清单 | 第8-9页 |
| 注释表 | 第9-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-13页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·热释电材料的研究现状及发展前景 | 第10-12页 |
| ·本文的内容安排 | 第12-13页 |
| 第二章 锆钛酸铅 | 第13-18页 |
| ·锆钛酸铅的发展状况 | 第13页 |
| ·锆钛酸铅的结构及相图 | 第13-16页 |
| ·PZT 的结构 | 第13-14页 |
| ·PZT 的相图 | 第14-16页 |
| ·锆钛酸铅的铁电性 | 第16-17页 |
| ·锆钛酸铅的热释电性 | 第17-18页 |
| 第三章 PZT95/5 薄膜的PLD 制备 | 第18-21页 |
| ·PLD 实验系统 | 第18-19页 |
| ·基片和底电极的制备 | 第19-20页 |
| ·基片的净化 | 第19页 |
| ·沉积室气氛与气压 | 第19-20页 |
| ·激光能量等参数设置 | 第20页 |
| ·PZT95/5 薄膜的制备工艺流程 | 第20-21页 |
| 第四章 PZT95/5 薄膜的形貌与结构特征 | 第21-26页 |
| ·厚度测量 | 第21页 |
| ·形貌分析 | 第21-23页 |
| ·XRD 衍射分析 | 第23-26页 |
| 第五章 PZT95/5 薄膜的电性质 | 第26-36页 |
| ·铁电特性分析 | 第26-29页 |
| ·电滞回线测量 | 第26-27页 |
| ·不同退火温度对PZT95/5 薄膜铁电性的影响 | 第27-29页 |
| ·热释电系数测试仪 | 第29-33页 |
| ·热释电系数测试仪原理及计算 | 第29-30页 |
| ·设计要求及整体架构 | 第30-31页 |
| ·高精度电流计KEITHLEY MODEL 6514 | 第31页 |
| ·模糊PID 温度控制器 | 第31-32页 |
| ·软件驱动 | 第32-33页 |
| ·热电特性分析 | 第33-36页 |
| ·不同退火温度对PZT95/5 薄膜热释电性的影响 | 第33-36页 |
| ·铁电相-顺电相热释电性能研究 | 第33-35页 |
| ·FRL-FRH 相变热释电性能研究 | 第35-36页 |
| 第六章 总结和展望 | 第36-38页 |
| ·总结 | 第36页 |
| ·不足和展望 | 第36-38页 |
| 参考文献 | 第38-41页 |
| 致谢 | 第41-42页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第42页 |