过渡金属Cr、W与Al配对界面构造的机械特性研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-16页 |
| ·课题背景 | 第11-14页 |
| ·研究背景与课题来源 | 第11-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-14页 |
| ·课题主要内容及技术路线 | 第14-16页 |
| ·课题的主要内容 | 第14页 |
| ·研究的技术路线 | 第14-16页 |
| 第二章 双层金属膜样品的制备 | 第16-22页 |
| ·镀膜的基本原理 | 第16-18页 |
| ·镀膜方法简述及设备选择 | 第16-17页 |
| ·磁控溅射镀膜原理 | 第17-18页 |
| ·样品制备 | 第18-20页 |
| ·制备Al-Cr膜系样品 | 第18-19页 |
| ·制备W-Al和Al-W膜系样品 | 第19-20页 |
| ·样品分类与保存 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第三章 金属膜系的机械特性测试 | 第22-43页 |
| ·纳米压痕实验 | 第22-35页 |
| ·纳米压痕实验原理 | 第22-26页 |
| ·纳米压痕实验设备 | 第26-27页 |
| ·压痕点位置的选择与测试结果 | 第27-29页 |
| ·压痕测试结果分析 | 第29-35页 |
| ·纳米划痕实验 | 第35-41页 |
| ·样品Y202和Y302的热循环 | 第35-37页 |
| ·样品W-Al和Al-W的纳米划痕测试 | 第37-38页 |
| ·划痕实验数据分析 | 第38-41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 第四章 基于有限元方法模拟纳米压痕过程 | 第43-56页 |
| ·有限元非线性分析基本理论 | 第43-44页 |
| ·有限元法概述 | 第43-44页 |
| ·有限元分析软件—ANSYS | 第44页 |
| ·ANSYS软件接触非线性分析的一般过程 | 第44页 |
| ·有限元建模仿真 | 第44-50页 |
| ·样品Y101的物理模型 | 第45-47页 |
| ·样品Y102的物理模型 | 第47-50页 |
| ·仿真数据分析 | 第50-55页 |
| ·样品Y101的仿真结果 | 第50页 |
| ·样品Y102的仿真结果 | 第50-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 结论与展望 | 第56-58页 |
| ·结论 | 第56-57页 |
| ·未来展望 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 作者在攻读硕士期间发表的论文 | 第63页 |
