预应力梁结构压力传感器设计与特性研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 研究背景 | 第11页 |
| 1.2 压力传感器 | 第11-16页 |
| 1.2.1 电容压力传感器 | 第11-13页 |
| 1.2.2 压阻压力传感器 | 第13-14页 |
| 1.2.3 压电压力传感器 | 第14-16页 |
| 1.3 谐振式传感器 | 第16-19页 |
| 1.3.1 谐振式传感器分类及原理 | 第16-18页 |
| 1.3.2 谐振压力传感器介绍 | 第18-19页 |
| 1.4 预应力原理及应用 | 第19-22页 |
| 1.4.1 预应力技术概况 | 第20-21页 |
| 1.4.2 预应力效应 | 第21-22页 |
| 1.5 论文内容 | 第22-23页 |
| 第2章 压力传感理论与预应力效应分析 | 第23-42页 |
| 2.1 谐振式压力传感器总体设计 | 第23-25页 |
| 2.2 振动模型建立与谐振理论分析 | 第25-29页 |
| 2.3 预应力效应理论分析 | 第29-33页 |
| 2.4 振动模态分析 | 第33-36页 |
| 2.5 压力薄膜设计 | 第36-39页 |
| 2.6 灵敏度分析 | 第39-40页 |
| 2.7 本章小结 | 第40-42页 |
| 第3章 压力传感结构设计与仿真 | 第42-65页 |
| 3.1 结构尺寸设计 | 第42-48页 |
| 3.1.1 材料与梁结构设计 | 第42-44页 |
| 3.1.2 耦合部分设计 | 第44-48页 |
| 3.2 振动仿真 | 第48-51页 |
| 3.3 压电激励与拾振 | 第51-52页 |
| 3.4 预应力效应分析与优化 | 第52-64页 |
| 3.4.1 磁铁力计算 | 第52-54页 |
| 3.4.2 预应力振动仿真 | 第54-58页 |
| 3.4.3 灵敏度仿真与优化 | 第58-64页 |
| 3.5 本章小结 | 第64-65页 |
| 第4章 预应力压力传感结构制作与性能测试 | 第65-79页 |
| 4.1 微机械加工技术简介 | 第65-66页 |
| 4.2 实验原理与测试平台 | 第66-70页 |
| 4.2.1 预应力谐振式传感结构 | 第67-69页 |
| 4.2.2 测试系统及主要设备 | 第69-70页 |
| 4.3 谐振式压力传感器特性试验 | 第70-74页 |
| 4.3.1 压力传感器振动特性 | 第70-71页 |
| 4.3.2 压力传感器非线性振动特性 | 第71-74页 |
| 4.4 预应力结构压力灵敏度测试 | 第74-76页 |
| 4.5 本章小结 | 第76-79页 |
| 第5章 结论与展望 | 第79-81页 |
| 参考文献 | 第81-89页 |
| 作者简介及科研成果 | 第89-90页 |
| 作者简介 | 第89页 |
| 科研成果 | 第89页 |
| 参与项目 | 第89-90页 |
| 致谢 | 第90页 |
