| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 引言 | 第8-9页 |
| 1 绪论 | 第9-24页 |
| ·DLC膜的成分和结构 | 第9-12页 |
| ·DLC膜的成分 | 第9-10页 |
| ·DLC膜的结构模型 | 第10-12页 |
| ·DLC膜的制备技术 | 第12-17页 |
| ·离子束沉积法 | 第13-14页 |
| ·溅射 | 第14页 |
| ·真空阴极弧沉积法 | 第14页 |
| ·脉冲激光气相沉积法 | 第14-15页 |
| ·等离子体增强化学气相沉积 | 第15-17页 |
| ·DLC膜的性能 | 第17-20页 |
| ·DLC膜的机械性能 | 第17-19页 |
| ·DLC膜的摩擦学性能 | 第19页 |
| ·DLC膜的光学性能 | 第19-20页 |
| ·DLC膜的电学性能 | 第20页 |
| ·DLC膜的应用 | 第20-21页 |
| ·DLC膜的机械应用 | 第20页 |
| ·DLC膜的光学应用 | 第20-21页 |
| ·DLC膜的电学应用 | 第21页 |
| ·DLC膜的医学应用 | 第21页 |
| ·DLC膜在应用中存在的问题及解决方法 | 第21-23页 |
| ·多层膜技术 | 第22页 |
| ·金属掺杂DLC | 第22-23页 |
| ·本文主要研究内容 | 第23-24页 |
| 2 DLC膜的制备及分析方法 | 第24-34页 |
| ·制备Ti-DLC实验设备 | 第24-25页 |
| ·Ti-DLC膜的制备工艺 | 第25页 |
| ·基体材料准备 | 第25页 |
| ·Ti-DLC膜的制备工艺 | 第25页 |
| ·DLC膜的分析方法 | 第25-34页 |
| ·表面形貌分析 | 第25-27页 |
| ·成分和结构分析 | 第27-32页 |
| ·机械性能分析 | 第32-33页 |
| ·摩擦性能分析 | 第33-34页 |
| 3 FCVA制备含Ti-DLC膜 | 第34-44页 |
| ·FCVA制备含Ti-DLC膜工艺参数 | 第34页 |
| ·FCVA制备含Ti的DLC膜(Ti-DLC)的成分、结构和性能 | 第34-44页 |
| ·Ti-DLC膜的形貌 | 第34-35页 |
| ·Ti-DLC膜的成分 | 第35-36页 |
| ·Ti-DLC膜的结构 | 第36-42页 |
| ·Ti-DLC膜的性能 | 第42-44页 |
| 结论 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-50页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51-53页 |