| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 能源发展状况 | 第11-12页 |
| 1.2 光伏产业发展状况 | 第12-14页 |
| 1.3 硅材料在光伏产业中的应用 | 第14页 |
| 1.4 太阳能级多晶硅的制备工艺 | 第14-16页 |
| 1.4.1 西门子法 | 第15页 |
| 1.4.2 流化床法 | 第15页 |
| 1.4.3 冶金法 | 第15-16页 |
| 1.5 定向凝固技术 | 第16-19页 |
| 1.5.1 定向凝固技术的发展 | 第16-17页 |
| 1.5.2 定向凝固技术的应用 | 第17-19页 |
| 1.6 研究意义、内容及创新点 | 第19-21页 |
| 1.6.1 研究意义与内容 | 第19-20页 |
| 1.6.2 论文创新点 | 第20-21页 |
| 第二章 多晶硅真空定向凝固设备及检测方法 | 第21-25页 |
| 2.1 真空定向凝固多晶炉 | 第21-23页 |
| 2.1.1 实验设备 | 第21-22页 |
| 2.1.2 实验原理 | 第22-23页 |
| 2.1.3 设备尺寸 | 第23页 |
| 2.2 检测设备及方法 | 第23-24页 |
| 2.2.1 微波光电导衰减仪 | 第23-24页 |
| 2.2.2 X射线衍射仪 | 第24页 |
| 2.3 其他辅助设备 | 第24-25页 |
| 第三章 多晶硅真空定向凝固过程的数学模型 | 第25-31页 |
| 3.1 多晶硅定向凝固过程理论分析 | 第25-26页 |
| 3.1.1 硅的属性 | 第25-26页 |
| 3.1.2 模型假设 | 第26页 |
| 3.2 多晶硅定向凝固过程数值模拟控制方程 | 第26-30页 |
| 3.2.1 传热方程及边界条件 | 第26-27页 |
| 3.2.2 流动方程及边界条件 | 第27-28页 |
| 3.2.3 应力方程及边界条件 | 第28-30页 |
| 3.3 计算模型网格 | 第30-31页 |
| 第四章 硅熔体的流动行为对铸锭质量的影响 | 第31-49页 |
| 4.1 模型的建立及网格质量 | 第31-33页 |
| 4.1.1 模型建立 | 第31-33页 |
| 4.1.2 网格质量 | 第33页 |
| 4.2 模拟结果及分析 | 第33-42页 |
| 4.2.1 测温点温度对比 | 第33-34页 |
| 4.2.2 Marangoni效应对熔体流动的影响 | 第34-38页 |
| 4.2.3 Marangoni效应对应力的影响 | 第38-39页 |
| 4.2.4 Marangoni效应对固液界面的影响 | 第39-42页 |
| 4.3 实验结果与分析 | 第42-46页 |
| 4.3.1 实验方案 | 第43-44页 |
| 4.3.2 实验结果与分析 | 第44-46页 |
| 4.4 本章小结 | 第46-49页 |
| 第五章 不同下拉速率对晶体质量的影响研究 | 第49-63页 |
| 5.1 坩埚下拉速率与硅料凝固速率的关系 | 第49-50页 |
| 5.2 模拟结果与分析 | 第50-57页 |
| 5.2.1 不同下拉速率对熔体流动的影响 | 第52页 |
| 5.2.2 不同下拉速率对应力的影响 | 第52-53页 |
| 5.2.3 不同下拉速率对固液界面的影响 | 第53-55页 |
| 5.2.4 先快后慢的下拉速率 | 第55-57页 |
| 5.3 实验结果与分析 | 第57-62页 |
| 5.3.1 实验流程图 | 第57-58页 |
| 5.3.2 实验结果 | 第58-62页 |
| 5.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 第六章 结论与展望 | 第63-65页 |
| 6.1 结论 | 第63-64页 |
| 6.2 展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-71页 |
| 致谢 | 第71-73页 |
| 附录 | 第73-74页 |