| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-20页 |
| 1.1 课题的研究背景 | 第8-15页 |
| 1.1.1 声表面波器件的发展 | 第8-10页 |
| 1.1.2 叉指换能器理论模型的发展 | 第10-12页 |
| 1.1.3 压电材料的发展 | 第12-15页 |
| 1.2 声表面波器件的应用及其发展趋势 | 第15-18页 |
| 1.2.1 声表面波器件的应用 | 第15-17页 |
| 1.2.2 声表面波器件的发展趋势 | 第17-18页 |
| 1.3 研究的意义和内容 | 第18-20页 |
| 第二章 声表面波器件的原理 | 第20-37页 |
| 2.1 声表面波理论 | 第20-25页 |
| 2.1.1 声表面波在非压电材料中的传播 | 第20-23页 |
| 2.1.2 声表面波在压电材料中的传播 | 第23-25页 |
| 2.2 声表面波器件的核心——叉指换能器 | 第25-31页 |
| 2.2.1 叉指换能器的工作原理 | 第26页 |
| 2.2.2 叉指换能器的频响特性 | 第26-28页 |
| 2.2.3 叉指换能器的脉冲响应 | 第28-30页 |
| 2.2.4 叉指换能器的阻抗特性 | 第30-31页 |
| 2.3 声表面波传输的载体——压电材料 | 第31-36页 |
| 2.3.1 压电材料中的重要参数 | 第33-34页 |
| 2.3.2 压电材料的选择要求 | 第34-36页 |
| 2.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 声表面波谐振器理论及仿真 | 第37-49页 |
| 3.1 声表面波谐振器的原理 | 第37-39页 |
| 3.2 有限元法的简介和二维结构模型的建立 | 第39-41页 |
| 3.2.1 有限元分析软件COMSOL的简介 | 第40页 |
| 3.2.2 二维结构模型的建立 | 第40-41页 |
| 3.3 ZnO单晶声表面波谐振器的二维有限元仿真 | 第41-43页 |
| 3.3.1 建立几何结构 | 第41-42页 |
| 3.3.2 设置边界条件 | 第42页 |
| 3.3.3 材料的设置 | 第42-43页 |
| 3.4 仿真结果分析 | 第43-48页 |
| 3.4.1 模态特性分析 | 第43-45页 |
| 3.4.2 位移特性分析 | 第45-47页 |
| 3.4.3 阻抗特性分析 | 第47-48页 |
| 3.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 IDT结构对器件的影响和ZnO单晶谐振器的应用 | 第49-63页 |
| 4.1 IDT结构对ZnO单晶声表面波谐振器的影响 | 第49-56页 |
| 4.1.1 金属化率分析 | 第50-51页 |
| 4.1.2 电极高度的影响 | 第51-52页 |
| 4.1.3 叉指对数的影响 | 第52-55页 |
| 4.1.4 基底高度的影响 | 第55-56页 |
| 4.2 高频Zn O单晶声表面波谐振器的设计 | 第56-60页 |
| 4.2.1 工作频率 433.92MHz声表面波谐振器的设计 | 第57-58页 |
| 4.2.2 工作频率 1.889GHz到 1.89GHz声表面波谐振器的设计 | 第58-60页 |
| 4.3 ZnO单晶谐振器在压力传感方面的应用 | 第60-62页 |
| 4.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 总结与展望 | 第63-64页 |
| 5.1 论文总结 | 第63页 |
| 5.2 进一步的工作 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第67-68页 |
| 附录2 攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
