硅粉原位氮化结合氮化硅粉制备氮化硅陶瓷及基板
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第14-27页 |
| 1.1 氮化硅陶瓷材料 | 第14-19页 |
| 1.1.1 氮化硅陶瓷的结构与性质 | 第14-15页 |
| 1.1.2 氮化硅陶瓷的性能 | 第15-16页 |
| 1.1.3 氮化硅陶瓷的烧结 | 第16-19页 |
| 1.2 陶瓷基板材料 | 第19-22页 |
| 1.2.1 陶瓷基板简介 | 第19-20页 |
| 1.2.2 陶瓷基板的种类 | 第20-21页 |
| 1.2.3 常用陶瓷基板性能比较 | 第21-22页 |
| 1.3 氮化硅陶瓷基板 | 第22-25页 |
| 1.3.1 氮化硅陶瓷基板的成型 | 第22-24页 |
| 1.3.2 氮化硅陶瓷基板的烧结 | 第24页 |
| 1.3.3 氮化硅陶瓷基板的研究现状 | 第24-25页 |
| 1.4 本文研究目的与内容 | 第25-27页 |
| 1.4.1 研究目的与意义 | 第25-26页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第26-27页 |
| 第二章 实验原料、设备与方法 | 第27-36页 |
| 2.1 实验原料与设备 | 第27-29页 |
| 2.1.1 实验原料 | 第27-28页 |
| 2.1.2 实验设备 | 第28-29页 |
| 2.2 制备方法 | 第29-30页 |
| 2.2.1 成型工艺 | 第29页 |
| 2.2.2 热处理工艺 | 第29-30页 |
| 2.3 表征方法与原理 | 第30-36页 |
| 2.3.1 物相分析 | 第30-31页 |
| 2.3.2 微观形貌分析 | 第31页 |
| 2.3.3 基本物理性质和性能分析 | 第31-36页 |
| 第三章 硅粉添加量对氮化硅性能的影响 | 第36-46页 |
| 3.1 前言 | 第36-37页 |
| 3.2 实验过程 | 第37页 |
| 3.3 成分分析 | 第37-39页 |
| 3.4 致密度与微观结构 | 第39-41页 |
| 3.5 物理性能 | 第41-44页 |
| 3.5.1 热学性能 | 第41-42页 |
| 3.5.2 力学性能 | 第42-44页 |
| 3.6 本章小结 | 第44-46页 |
| 第四章 烧结助剂对氮化硅性能的影响 | 第46-55页 |
| 4.1 前言 | 第46-47页 |
| 4.2 实验过程 | 第47页 |
| 4.3 成分分析 | 第47-48页 |
| 4.4 致密度与微观结构 | 第48-51页 |
| 4.5 物理性能 | 第51-53页 |
| 4.5.1 热学性能 | 第51-52页 |
| 4.5.2 力学性能 | 第52-53页 |
| 4.6 本章小结 | 第53-55页 |
| 第五章 烧结助剂对氮化硅陶瓷基板性能的影响 | 第55-67页 |
| 5.1 前言 | 第55页 |
| 5.2 实验过程 | 第55-58页 |
| 5.3 成分分析 | 第58-59页 |
| 5.4 致密度与微观结构 | 第59-61页 |
| 5.5 物理性能 | 第61-65页 |
| 5.5.1 热学性能 | 第61-63页 |
| 5.5.2 力学性能 | 第63-65页 |
| 5.6 本章小结 | 第65-67页 |
| 结论与展望 | 第67-69页 |
| 结论 | 第67-68页 |
| 展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-76页 |
| 攻读学位期间发表论文 | 第76-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
