| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-22页 |
| 1.1 AlN 静电卡盘 | 第8-9页 |
| 1.2 AlN 的性能 | 第9-11页 |
| 1.3 AlN 粉末的制备 | 第11-15页 |
| 1.4 AlN 坯体的成型工艺 | 第15-18页 |
| 1.5 AlN 陶瓷的烧结工艺 | 第18-19页 |
| 1.6 AlN 陶瓷研究中存在的问题 | 第19-20页 |
| 1.7 选题来源、意义及内容 | 第20-22页 |
| 第二章 试样制备及分析表征 | 第22-26页 |
| 2.1 实验原料 | 第22页 |
| 2.2 实验方案 | 第22-23页 |
| 2.3 实验分析测试方法 | 第23-26页 |
| 第三章 AlN 陶瓷放电等离子烧结致密化和烧结助剂的选择 | 第26-38页 |
| 3.1 引言 | 第26-28页 |
| 3.2 实验方法 | 第28页 |
| 3.3 结果与分析 | 第28-33页 |
| 3.4 讨论分析 | 第33-37页 |
| 本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 低电阻率 AlN 陶瓷的制备 | 第38-55页 |
| 4.1 引言 | 第38-40页 |
| 4.2 实验方法 | 第40页 |
| 4.3 结果与分析 | 第40-50页 |
| 4.4 讨论分析 | 第50-53页 |
| 本章小结 | 第53-55页 |
| 全文总结 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-63页 |
| 附录 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第63页 |