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烧结NdFeB真空镀铝及耐蚀性能研究

摘要第5-6页
Abstract第6-7页
第1章 绪论第11-24页
    1.1 烧结 NdFeB 磁体的性能及应用第11-14页
        1.1.1 烧结 NdFeB 磁体的性能第11-12页
        1.1.2 烧结 NdFeB 磁体的应用第12-14页
    1.2 烧结 NdFeB 磁体的成分、结构及腐蚀机理第14-17页
        1.2.1 烧结 NdFeB 磁体的成分和结构第14-15页
        1.2.2 烧结 NdFeB 磁体的腐蚀机理第15-17页
    1.3 烧结 NdFeB 磁体的防腐方法第17-20页
        1.3.1 合金化法第17页
        1.3.2 涂层法第17-20页
    1.4 烧结 NdFeB 磁体真空镀层防护研究进展第20-22页
        1.4.1 离子镀第20-21页
        1.4.2 真空蒸发第21页
        1.4.3 溅射镀膜第21-22页
    1.5 磁场对金属腐蚀行为影响的研究现状第22-23页
    1.6 本文研究的内容及意义第23-24页
第2章 实验方法第24-27页
    2.1 烧结 NdFeB 磁体的预处理过程第24页
    2.2 烧结 NdFeB 磁体表面防腐层的制备第24页
        2.2.1 磁控溅射制备 Al 薄膜的工艺第24页
        2.2.2 电子束蒸发制备 Al_2O_3、Al 薄膜的工艺第24页
    2.3 薄膜的结构性能表征第24-27页
        2.3.1 X 射线衍射(XRD)分析第24-25页
        2.3.2 扫描电子显微镜(SEM)及 X 射线能量射散谱仪(EDS)分析第25页
        2.3.3 金相显微分析第25页
        2.3.4 抗腐蚀性能分析第25-26页
        2.3.5 薄膜的附着力分析第26-27页
第3章 磁控溅射制备 Al 薄膜及其抗腐蚀性能研究第27-44页
    3.1 引言第27页
    3.2 溅射气压第27-33页
        3.2.1 溅射气压对 Al 薄膜沉积速率的影响第28页
        3.2.2 薄膜的物相和成分分析第28-29页
        3.2.3 溅射气压对 Al 薄膜微观结构的影响第29-31页
        3.2.4 溅射气压对 Al 薄膜抗腐蚀性能的影响第31-33页
    3.3 溅射功率第33-38页
        3.3.1 溅射功率对 Al 薄膜沉积速率的影响第34-35页
        3.3.2 溅射功率对 Al 薄膜微观结构的影响第35-36页
        3.3.3 溅射功率对 Al 薄膜抗腐蚀性能的影响第36-38页
    3.4 薄膜厚度第38-42页
        3.4.1 膜厚对 Al 薄膜微观结构的影响第38-39页
        3.4.2 膜厚对 Al 薄膜抗腐蚀性能的影响第39-41页
        3.4.3 Al 薄膜的附着力第41-42页
    3.5 本章小结第42-44页
第4章 电子束蒸发制备 Al_2O_3、Al 薄膜及其抗腐蚀性能研究第44-53页
    4.1 引言第44页
    4.2 电子束蒸发制备的 Al 薄膜的结构与性能第44-47页
        4.2.1 Al 薄膜的结构第44-46页
        4.2.2 Al 薄膜的抗腐蚀性能第46页
        4.2.3 Al 薄膜的附着力第46-47页
    4.3 膜厚对 Al_2O_3薄膜的结构与性能的影响第47-49页
        4.3.1 膜厚对 Al_2O_3薄膜结构的影响第47-48页
        4.3.2 膜厚对 Al_2O_3薄膜抗腐蚀性能的影响第48-49页
    4.4 沉积速率对 Al_2O_3薄膜结构与性能的影响第49-52页
        4.4.1 沉积速率对 Al_2O_3薄膜结构的影响第49-50页
        4.4.2 沉积速率对 Al_2O_3薄膜抗腐蚀性能的影响第50-51页
        4.4.3 Al_2O_3薄膜的附着力第51-52页
    4.5 本章小结第52-53页
第5章 磁场作用下 NdFeB 及其镀层的腐蚀行为第53-69页
    5.1 引言第53页
    5.2 磁化状态下磁体在中性溶液中的腐蚀行为第53-58页
        5.2.1 NdFeB 磁体在 NaCl 溶液中的腐蚀行为第53-55页
        5.2.2 Al/NdFeB 磁体在 NaCl 溶液中的腐蚀行为第55-56页
        5.2.3 AlN/Al/NdFeB 磁体在 NaCl 溶液中的腐蚀行为第56-57页
        5.2.4 磁场对磁体在 NaCl 溶液中耐蚀性影响的原理分析第57-58页
    5.3 磁化状态下磁体在酸性溶液中的腐蚀行为第58-62页
        5.3.1 NdFeB 磁体在 H_3PO_4溶液中的腐蚀行为第58-60页
        5.3.2 Al/NdFeB 磁体在 H_3PO_4溶液中的腐蚀行为第60-61页
        5.3.3 磁场对磁体在 H_3PO_4溶液中耐蚀性影响的原理分析第61-62页
    5.4 磁化状态下烧结 NdFeB 磁体在碱性溶液中的腐蚀行为第62-65页
    5.5 磁场强度对烧结 NdFeB 磁体腐蚀行为的影响第65-68页
    5.6 本章小结第68-69页
结论第69-70页
参考文献第70-77页
附录A 攻读硕士学位期间所发表的学术论文目录第77-78页
致谢第78页

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