触针扫描表面形貌测量仪软件系统研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-12页 |
| 1.1 研究背景 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外现状与发展趋势 | 第9-10页 |
| 1.3 本文的主要工作 | 第10-11页 |
| 1.4 课题来源 | 第11-12页 |
| 2 仪器软件系统总体构架与测量模块 | 第12-20页 |
| 2.1 触针扫描表面形貌测量仪原理及实现 | 第12-13页 |
| 2.2 软件系统的整体构架 | 第13-15页 |
| 2.3 表面形貌测量模块 | 第15-19页 |
| 2.4 本章小结 | 第19-20页 |
| 3 二维表面轮廓分析与评定模块 | 第20-31页 |
| 3.1 二维轮廓滤波 | 第20-25页 |
| 3.2 二维轮廓参数评定 | 第25-29页 |
| 3.3 PDF 分析评定报告 | 第29-30页 |
| 3.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 4 三维表面形貌分析与评定模块 | 第31-51页 |
| 4.1 三维表面形貌显示 | 第31-38页 |
| 4.2 三维表面形貌滤波 | 第38-46页 |
| 4.3 三维表面形貌参数评定 | 第46-50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 5 MEMS 结构特征分析与评定模块 | 第51-66页 |
| 5.1 MEMS 结构方向检测 | 第51-54页 |
| 5.2 MEMS 结构方向特征提取 | 第54-57页 |
| 5.3 MEMS 结构参数评定 | 第57-65页 |
| 5.4 本章小结 | 第65-66页 |
| 6 软件系统功能实验 | 第66-72页 |
| 6.1 软件系统整体效果 | 第66-68页 |
| 6.2 二维轮廓测量分析评定实验 | 第68-69页 |
| 6.3 三维表面形貌分析评定实验 | 第69-71页 |
| 6.4 本章小结 | 第71-72页 |
| 7 总结与展望 | 第72-74页 |
| 7.1 全文总结 | 第72-73页 |
| 7.2 展望 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-78页 |
| 附录 1 攻读学位期间学术成果目录 | 第78页 |
