石墨烯毫米波亚毫米波天线研究
| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 目次 | 第7-9页 |
| 1 绪论 | 第9-25页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第9-15页 |
| 1.1.1 毫米波特性概述 | 第9-13页 |
| 1.1.2 太赫兹特性 | 第13-15页 |
| 1.2 课题研究现状 | 第15-23页 |
| 1.2.1 片上天线研究现状 | 第15-19页 |
| 1.2.2 石墨烯太赫兹天线 | 第19-22页 |
| 1.2.3 太赫兹研究进展 | 第22-23页 |
| 1.3 课题研究目的 | 第23-24页 |
| 1.4 课题研究内容 | 第24页 |
| 1.5 本章小结 | 第24-25页 |
| 2 60GHz片上天线设计 | 第25-41页 |
| 2.1 纵向结构设计 | 第25-27页 |
| 2.2 馈电结构设计 | 第27-28页 |
| 2.3 天线设计 | 第28-39页 |
| 2.3.1 类偶极子天线和宽带单极子天线 | 第28-30页 |
| 2.3.2 带SRR的天线 | 第30-33页 |
| 2.3.3 钟形60G天线 | 第33-39页 |
| 2.4 本章小结 | 第39-41页 |
| 3 石墨烯太赫兹天线设计 | 第41-52页 |
| 3.1 石墨烯的特性 | 第41-42页 |
| 3.2 石墨烯与金属接触 | 第42-43页 |
| 3.3 石墨烯传输线简述 | 第43页 |
| 3.4 石墨烯做辐射体 | 第43-46页 |
| 3.5 石墨烯偶极子天线 | 第46-49页 |
| 3.6 带SRR的U型石墨烯天线 | 第49-51页 |
| 3.7 本章小结 | 第51-52页 |
| 4 天线的加工和制作 | 第52-66页 |
| 4.1 材料的制备 | 第52-53页 |
| 4.2 微纳加工工艺 | 第53-56页 |
| 4.2.1 溅射工艺 | 第53-54页 |
| 4.2.2 光刻工艺 | 第54-56页 |
| 4.3 传输线和馈线加工 | 第56-58页 |
| 4.4 石墨烯基太赫兹波段天线的制作 | 第58-62页 |
| 4.4.1 光刻套刻标记与薄膜电阻 | 第58-59页 |
| 4.4.2 光刻套刻标记与金属电极、共面波导 | 第59页 |
| 4.4.3 PECVD沉积二氧化硅 | 第59-60页 |
| 4.4.4 转移石墨烯 | 第60页 |
| 4.4.5 光刻天线辐射体 | 第60-61页 |
| 4.4.6 刻蚀石墨烯 | 第61页 |
| 4.4.7 ICP(感应耦合等离子)刻蚀二氧化硅 | 第61-62页 |
| 4.5 天线实物图 | 第62-65页 |
| 4.6 本章小结 | 第65-66页 |
| 5 总结与展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-72页 |
| 作者简介 | 第72页 |
