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硅基微纳波导器件研究

摘要第4-6页
Abstract第6-8页
1 绪论第12-29页
    1.1 引言第12-15页
    1.2 硅基光子学及其研究现状第15-27页
    1.3 本论文的主要研究内容第27-29页
2 硅基波导器件的理论基础与仿真方法第29-58页
    2.1 引言第29-30页
    2.2 硅基波导器件的理论基础第30-42页
    2.3 耦合微环谐振器的理论设计第42-49页
    2.4 单波长反射器及可重构光相关器的理论设计第49-56页
    2.5 本章小结第56-58页
3 空气模光子晶体微环谐振器第58-73页
    3.1 引言第58-60页
    3.2 空气模光子晶体微环谐振器的设计第60-61页
    3.3 空气模光子晶体微环谐振器的制备第61-67页
    3.4 实验测试及仿真验证第67-72页
    3.5 本章小结第72-73页
4 谐振间隔可调谐的单微环谐振器第73-86页
    4.1 引言第73-74页
    4.2 单微环谐振分束器件的设计第74-79页
    4.3 单微环谐振分束器件的制备第79-80页
    4.4 谐振间隔调谐的实验测试第80-83页
    4.5 器件的应用讨论第83-85页
    4.6 本章小结第85-86页
5 硅基亚波长光栅波导的非线性研究第86-103页
    5.1 引言第86-90页
    5.2 亚波长光栅波导的设计第90-93页
    5.3 亚波长光栅波导的制备第93-95页
    5.4 亚波长光栅波导上的T比特量级信号传输测试第95-101页
    5.5 本章小结第101-103页
6 O波段氮化硅波分复用器第103-125页
    6.1 引言第103-107页
    6.2 级联MZI滤波器型波分复用器件的基本理论第107-115页
    6.3 氮化硅波导器件的工艺制备第115-116页
    6.4 O波段氮化硅波分复用器的设计、制作及测试第116-124页
    6.5 本章小结第124-125页
7 总结与展望第125-129页
致谢第129-131页
参考文献第131-146页
附录1 攻读博士学位期间发表论文目录第146-148页
附录2 论文中英文缩略词简表第148页

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