基于碳纳米管薄膜的传感器件制备及其气体敏感特性研究
摘要 | 第4-5页 |
Abstract | 第5-6页 |
第1章 绪论 | 第9-21页 |
1.1 课题背景意义 | 第9-10页 |
1.2 国内外研究现状 | 第10-19页 |
1.2.1 碳纳米管基本特性 | 第10页 |
1.2.2 纯碳纳米管气体传感器 | 第10-14页 |
1.2.3 掺杂纳米管气体传感器 | 第14-19页 |
1.3 课题主要研究内容 | 第19-21页 |
第2章 碳纳米管薄膜传感器制备与表征 | 第21-29页 |
2.1 气敏元件设计 | 第21-22页 |
2.1.1 元件结构设计 | 第21页 |
2.1.2 电极工艺与制备 | 第21-22页 |
2.2 实验试剂配置 | 第22-23页 |
2.2.1 碳纳米管溶液的配置 | 第22-23页 |
2.2.2 聚电解质溶液的配置 | 第23页 |
2.3 层层自组装碳纳米管薄膜制备 | 第23-26页 |
2.3.1 静电诱导自组装技术 | 第23-24页 |
2.3.2 自组装薄膜制备 | 第24-26页 |
2.4 滴涂法制备碳纳米管薄膜 | 第26-27页 |
2.4.1 滴涂组装方法 | 第26页 |
2.4.2 滴涂法制备薄膜 | 第26-27页 |
2.5 碳纳米管薄膜表征 | 第27-29页 |
2.5.1 薄膜表征方法 | 第27页 |
2.5.2 薄膜表征结果 | 第27-29页 |
第3章 碳纳米管薄膜电学模型 | 第29-42页 |
3.1 碳纳米管薄膜电学模型 | 第29-35页 |
3.1.1 碳纳米管本身电阻 | 第29-30页 |
3.1.2 碳纳米管结电阻 | 第30-35页 |
3.1.3 碳纳米管薄膜总电阻 | 第35页 |
3.2 自组装碳纳米管薄膜气体吸附模型 | 第35-36页 |
3.3 自组装碳纳米管薄膜电学模型 | 第36-40页 |
3.3.1 多项式型电学模型 | 第37-38页 |
3.3.2 指数型电学模型 | 第38-40页 |
3.4 碳纳米管薄膜温度特性和电阻稳定性 | 第40-42页 |
第4章 碳纳米管薄膜湿敏特性测试 | 第42-49页 |
4.1 湿度传感器 | 第42页 |
4.2 湿度测试环境 | 第42-43页 |
4.3 碳纳米管薄膜湿敏传感测试 | 第43-48页 |
4.3.1 滴涂法碳纳米管薄膜湿敏测试 | 第43-46页 |
4.3.2 自组装碳纳米管薄膜湿敏测试 | 第46-48页 |
4.4 碳纳米管薄膜湿敏特性分析 | 第48-49页 |
第5章 碳纳米管薄膜气敏特性测试 | 第49-60页 |
5.1 碳纳米管薄膜氨气敏感性测试 | 第49-52页 |
5.1.1 氨气测试环境 | 第49-50页 |
5.1.2 碳纳米管薄膜氨气敏感测试 | 第50-52页 |
5.2 碳纳米管薄膜乙醇敏感性测试 | 第52-54页 |
5.3 碳纳米管薄膜甲醛气体敏感性测试 | 第54-57页 |
5.3.1 甲醛测试环境 | 第54-55页 |
5.3.2 碳纳米管薄膜甲醛气体敏感测试 | 第55-57页 |
5.4 碳纳米管薄膜气敏动态响应与机理分析 | 第57-60页 |
5.4.1 碳纳米管薄膜气敏动态响应分析 | 第57-59页 |
5.4.2 碳纳米管薄膜气体敏感机理分析 | 第59-60页 |
总结与展望 | 第60-62页 |
参考文献 | 第62-70页 |
攻读硕士学位期间取得的学术成果 | 第70-71页 |
致谢 | 第71页 |