| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第13-31页 |
| 1.1 微波介电材料 | 第13-16页 |
| 1.1.1 微波介电陶瓷材料研究历史 | 第14-16页 |
| 1.1.2 微波介电陶瓷材料发展趋势 | 第16页 |
| 1.2 复合钙钛矿Ba(B￠_(1/3)B″_(2/3))O_3型微波介电材料 | 第16-19页 |
| 1.2.1 复合钙钛矿Ba(B￠_(1/3)B″_(2/3))O_3材料结构特点 | 第16-18页 |
| 1.2.2 复合钙钛矿Ba(B￠_(1/3)B″_(2/3))O_3陶瓷研究现状 | 第18-19页 |
| 1.3 微波介电薄膜研究现状及制备方法 | 第19-28页 |
| 1.3.1 微波介电薄膜研究现状 | 第19-22页 |
| 1.3.2 异质叠层薄膜研究现状 | 第22-25页 |
| 1.3.3 微波介电薄膜制备方法 | 第25-28页 |
| 1.4 复合钙钛矿Ba(B′_(1/3)B″_(2/3))O_3理论研究 | 第28-29页 |
| 1.5 本论文目的和意义 | 第29-30页 |
| 1.6 本论文主要研究内容 | 第30-31页 |
| 第2章 Ba(Mg_(1/3)B″_(2/3))O_3薄膜制备和结构性能分析 | 第31-53页 |
| 2.1 实验原料与设备 | 第31-32页 |
| 2.1.1 实验原料 | 第31-32页 |
| 2.1.2 实验设备 | 第32页 |
| 2.2 Ba(Mg_(1/3)B″_(2/3))O_3（B″=Nb和Ta）前驱体溶液制备 | 第32-39页 |
| 2.2.1 过氧化柠檬酸铌（P -Nb-CA）溶液制备 | 第32-36页 |
| 2.2.2 过氧化柠檬酸钽（P -Ta-CA）溶液制备 | 第36-37页 |
| 2.2.3 BMN前驱体溶液制备 | 第37-38页 |
| 2.2.4 BMT前驱体溶液制备 | 第38页 |
| 2.2.5 BMNT前驱体溶液制备 | 第38-39页 |
| 2.3 介电薄膜的制备及电极基片选择 | 第39-40页 |
| 2.3.1 电极基片选择 | 第39页 |
| 2.3.2 介电薄膜制备 | 第39-40页 |
| 2.4 介电薄膜的结构及性能分析 | 第40-53页 |
| 2.4.1 结构分析 | 第40-43页 |
| 2.4.2 薄膜电学性能测试分析 | 第43-51页 |
| 2.4.3 光学性能测试分析 | 第51-53页 |
| 第3章 BMNT电子结构第一原理研究 | 第53-67页 |
| 3.1 第一原理理论基础概述 | 第53-57页 |
| 3.1.1 Born-Oppenheimer绝热近似 | 第53-54页 |
| 3.1.2 密度泛函理论 | 第54-57页 |
| 3.2 第一性原理计算参数和模型设置 | 第57-60页 |
| 3.2.1 第一性原理计算参数设置 | 第57-58页 |
| 3.2.2 第一性原理计算模型 | 第58-60页 |
| 3.3 BMNT电子结构计算 | 第60-65页 |
| 3.3.1 BMNT晶格常数和键长分析 | 第60-61页 |
| 3.3.2 BMNT电荷密度分析 | 第61-64页 |
| 3.3.3 BMNT能带结构分析 | 第64-65页 |
| 3.4 本章小结 | 第65-67页 |
| 第4章 BMN的微观结构、介电性能及介电响应机制研究 | 第67-95页 |
| 4.1 Ba(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3前驱体溶液结构分析 | 第67-70页 |
| 4.2 Ba(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3粉末结构分析 | 第70-72页 |
| 4.3 Ba(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3薄膜微观结构分析 | 第72-78页 |
| 4.3.1 BMN薄膜结构分析 | 第72-75页 |
| 4.3.2 BMN薄膜形貌分析 | 第75-77页 |
| 4.3.3 BMN薄膜生长机制 | 第77-78页 |
| 4.4 Ba(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3薄膜电学性能分析 | 第78-81页 |
| 4.4.1 BMN薄膜的低频介电性能研究 | 第78-79页 |
| 4.4.2 BMN薄膜的电容-电压特性分析 | 第79-80页 |
| 4.4.3 BMN薄膜的漏电流特性分析 | 第80-81页 |
| 4.5 Ba(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3薄膜介电响应机制研究 | 第81-93页 |
| 4.5.1 介质的电极化 | 第81-84页 |
| 4.5.2 BMN薄膜介电响应机制研究 | 第84-93页 |
| 4.6 本章小结 | 第93-95页 |
| 第5章 BMNT薄膜结构与介电性能研究 | 第95-107页 |
| 5.1 BMN_x T_(8-x)薄膜结构分析 | 第95-101页 |
| 5.1.1 BMN_x T_(8-x)薄膜相结构分析 | 第95-96页 |
| 5.1.2 BMN_x T_(8-x)薄膜形貌结构分析 | 第96-99页 |
| 5.1.3 BMN_1T_7薄膜光电子能谱分析 | 第99-101页 |
| 5.1.4 BMN_x T_(8-x)薄膜Raman光谱分析 | 第101页 |
| 5.2 BMN_x T_(8-x)薄膜介电性能研究 | 第101-105页 |
| 5.3 本章小结 | 第105-107页 |
| 第6章 BMT/BMN薄膜界面结构和介电性能研究 | 第107-123页 |
| 6.1 BMT/BMN薄膜制备 | 第107页 |
| 6.2 BMT/BMN薄膜结构分析 | 第107-111页 |
| 6.3 BMT/BMN薄膜界面结构分析 | 第111-115页 |
| 6.3.1 BMT薄膜和BMN薄膜与基片界面结构分析 | 第111-113页 |
| 6.3.2 BMT/BMN薄膜异质界面结构分析 | 第113-115页 |
| 6.4 BMT/BMN薄膜介电性能研究 | 第115-122页 |
| 6.4.1 BMT/BMN薄膜低频介电性能分析 | 第115-119页 |
| 6.4.2 BMT/BMN薄膜高频介电性能分析 | 第119-122页 |
| 6.5 本章小结 | 第122-123页 |
| 第7章 结论 | 第123-125页 |
| 致谢 | 第125-126页 |
| 参考文献 | 第126-136页 |
| 附录1 博士学习期间已经发表的论文 | 第136页 |
| 附录2 博士学习期间申请的专利 | 第136页 |
| 附录3 博士学习期间参加的会议 | 第136-137页 |
| 附录4 博士学习期间参加的科研项目 | 第137页 |
