| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第13-17页 |
| 1.1 选题背景 | 第13-14页 |
| 1.2 选题依据 | 第14-15页 |
| 1.3 研究现状 | 第15-16页 |
| 1.4 主要工作内容 | 第16-17页 |
| 第2章 离子束偏转电源设计与实现 | 第17-36页 |
| 2.1 总体方案设计 | 第17-20页 |
| 2.1.1 需求分析 | 第17-19页 |
| 2.1.2 方案设计 | 第19-20页 |
| 2.2 单元电路设计 | 第20-29页 |
| 2.2.1 供电电路 | 第20-22页 |
| 2.2.2 第一放大电路 | 第22-23页 |
| 2.2.3 第二放大电路 | 第23-27页 |
| 2.2.4 输出保护电路 | 第27页 |
| 2.2.5 输出信号反馈电路 | 第27-28页 |
| 2.2.6 反相电路 | 第28-29页 |
| 2.3 电路仿真 | 第29-31页 |
| 2.3.1 供电电路仿真 | 第29-30页 |
| 2.3.2 第二放大电路仿真 | 第30-31页 |
| 2.3.3 电路整体仿真 | 第31页 |
| 2.4 电源调试与制作 | 第31-35页 |
| 2.4.1 印制电路板设计与电路板焊接 | 第31-32页 |
| 2.4.2 电路板调试 | 第32页 |
| 2.4.3 电源箱设计 | 第32-34页 |
| 2.4.4 电源装箱 | 第34-35页 |
| 2.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 第3章 离子束偏转电源测试与应用 | 第36-45页 |
| 3.1 电源测试 | 第36-40页 |
| 3.1.1 纹波测量 | 第36-39页 |
| 3.1.2 电源输出电压差值和输出对称度测量 | 第39页 |
| 3.1.3 电源参数列表 | 第39-40页 |
| 3.2 电源在仪器中的应用 | 第40-44页 |
| 3.2.1 电源在一次离子光学系统中的应用 | 第41-43页 |
| 3.2.2 电源在三维样品台中的应用 | 第43页 |
| 3.2.3 电源在二次离子飞行时间质量分析器中的应用 | 第43-44页 |
| 3.3 本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 真空测控系统的设计 | 第45-63页 |
| 4.1 总体方案设计 | 第45-46页 |
| 4.1.1 需求分析 | 第45-46页 |
| 4.1.2 方案设计 | 第46页 |
| 4.2 电路设计 | 第46-52页 |
| 4.2.1 主控芯片电路 | 第47-49页 |
| 4.2.2 GM8125串口扩展电路 | 第49-50页 |
| 4.2.3 RS232电平转换电路 | 第50页 |
| 4.2.4 RS485电平转换电路 | 第50-51页 |
| 4.2.5 人机交互电路 | 第51页 |
| 4.2.6 真空部件电路 | 第51-52页 |
| 4.3 软件设计 | 第52-60页 |
| 4.3.1 主体程序 | 第52-53页 |
| 4.3.2 初始化程序 | 第53-55页 |
| 4.3.3 人机交互程序 | 第55-56页 |
| 4.3.4 真空规控制程序 | 第56页 |
| 4.3.5 分子控制程序 | 第56-57页 |
| 4.3.6 机械泵控制程序 | 第57-58页 |
| 4.3.7 气动板阀控制程序 | 第58页 |
| 4.3.8 获得真空程序 | 第58-60页 |
| 4.3.9 真空腔体放气程序 | 第60页 |
| 4.4 一种智能真空控制策略 | 第60-61页 |
| 4.5 本章小结 | 第61-63页 |
| 第5章 全文总结 | 第63-65页 |
| 5.1 主要工作总结 | 第63页 |
| 5.2 下一步工作内容 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 作者简介 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |