| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 太赫兹科学技术简介 | 第9页 |
| 1.2 人工合成的微纳结构技术简介 | 第9-13页 |
| 1.3 基于微纳结构的太赫兹传感器的发展 | 第13-16页 |
| 1.3.1 基于微纳结构的太赫兹器件 | 第13-15页 |
| 1.3.2 基于微纳结构的太赫兹传感器 | 第15-16页 |
| 1.4 本论文的结构安排 | 第16-17页 |
| 第二章 太赫兹波段增强谐振阵列结构的研究 | 第17-36页 |
| 2.1 高Q值谐振结构的研究 | 第17-27页 |
| 2.1.1 LC模式和dipolar模式的Q值研究 | 第18-21页 |
| 2.1.2 Fano共振和EIT模式Q值研究 | 第21-24页 |
| 2.1.3 超单元结构Q值研究 | 第24-27页 |
| 2.2 微纳阵列表面结构F-P谐振腔的增强谐振机制研究 | 第27-31页 |
| 2.3 多层复合结构的电磁谐振机理的研究 | 第31-35页 |
| 2.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 基于微纳结构的太赫兹微流传感器的初步研究 | 第36-57页 |
| 3.1 基于微纳结构的太赫兹微流传感器设计思路 | 第36-37页 |
| 3.2 器件的单元设计与整体性能分析以及优化 | 第37-41页 |
| 3.2.1 Traditional器件的性能研究 | 第38-40页 |
| 3.2.2 Novel器件性能研究 | 第40-41页 |
| 3.2.3 Traditional器件和novel器件性能对比 | 第41页 |
| 3.3 不同频段的微流传感器性能研究 | 第41-48页 |
| 3.3.1 2THzsensor | 第41-43页 |
| 3.3.2 4THz sensor | 第43-45页 |
| 3.3.3 6THz sensor | 第45-46页 |
| 3.3.4 传感器优化方案—盖层刻蚀 | 第46-48页 |
| 3.4 基于微纳结构的太赫兹微流传感器的实验制备与组装 | 第48-53页 |
| 3.5 基于微纳结构的太赫兹微流传感器的测试 | 第53-55页 |
| 3.5.1 待传感液体的制备 | 第53页 |
| 3.5.2 传感器的液体传感测试 | 第53-55页 |
| 3.6 传感器测试实验数据的处理与性能评估 | 第55-56页 |
| 3.6.1 传感器实验数据的处理 | 第55-56页 |
| 3.6.2 传感器性能评估 | 第56页 |
| 3.7 本章小结 | 第56-57页 |
| 第四章 论文总结 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-67页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第67-68页 |
