MSM结构紫外探测器的性能测试与研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·紫外探测器的研究现状 | 第11-14页 |
| ·光电导型紫外探测器 | 第11-12页 |
| ·光伏型紫外探测器 | 第12-14页 |
| ·紫外探测器研究的关键问题 | 第14-15页 |
| ·衬底材料 | 第14页 |
| ·薄膜的制备方法 | 第14-15页 |
| ·电极材料与电极结构 | 第15页 |
| ·本论文研究内容 | 第15-17页 |
| 第二章 MSM 结构紫外探测器 | 第17-32页 |
| ·探测器的原理 | 第17-19页 |
| ·外光电效应 | 第17页 |
| ·内光电效应 | 第17-19页 |
| ·探测器的制备 | 第19-24页 |
| ·衬底的预处理 | 第19-20页 |
| ·AZO 薄膜的制备 | 第20页 |
| ·金属电极的制备 | 第20-24页 |
| ·探测器的测试 | 第24-32页 |
| ·MSM 光电探测器的主要参数 | 第24-29页 |
| ·主要测试仪器的介绍 | 第29-32页 |
| 第三章 石英衬底紫外探测器的性能测试与研究 | 第32-48页 |
| ·探测器的制备 | 第32页 |
| ·AZO 薄膜的性能 | 第32-34页 |
| ·紫外光的入射方式对探测器性能的影响 | 第34-35页 |
| ·氧气氛对探测器性能的影响 | 第35-41页 |
| ·薄膜溅射过程中氧气氛对探测器性能的影响 | 第35-39页 |
| ·测试环境中氧气氛对探测器性能的影响 | 第39-41页 |
| ·不同掺AL 浓度的探测器的性能测试比较 | 第41-45页 |
| ·I-V 特性 | 第41-42页 |
| ·响应时间 | 第42-44页 |
| ·光谱响应 | 第44-45页 |
| ·不同辐照度对探测器性能的影响 | 第45-47页 |
| ·小结 | 第47-48页 |
| 第四章 Si 衬底紫外探测器的性能测试与研究 | 第48-69页 |
| ·不同掺杂浓度的光电性能比较 | 第48-56页 |
| ·I-V 特性 | 第48-51页 |
| ·时间响应曲线 | 第51-55页 |
| ·掺Al 30at%的光谱响应曲线 | 第55-56页 |
| ·探测器的电容特性 | 第56-68页 |
| ·电容-电压特性 | 第56-59页 |
| ·不同频率下的C-V 特性 | 第59-65页 |
| ·不同频率下的Z-V 曲线 | 第65-66页 |
| ·测试温度对器件电容的影响 | 第66-68页 |
| ·小结 | 第68-69页 |
| 第五章 结论 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第74-75页 |
