| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第15-37页 |
| 1.1 引言 | 第15-16页 |
| 1.2 透明导电氧化物薄膜的制备及后续处理 | 第16-29页 |
| 1.2.1 透明导电氧化物薄膜的制备方法 | 第16-22页 |
| 1.2.2 透明导电氧化物薄膜的后续处理 | 第22-29页 |
| 1.3 FTO透明导电薄膜的研究现状 | 第29-32页 |
| 1.3.1 FTO透明导电薄膜的结构和性质 | 第29-30页 |
| 1.3.2 双层/多层复合FTO薄膜的研究现状 | 第30-32页 |
| 1.4 FTO基薄膜的应用 | 第32-34页 |
| 1.4.1 在太阳能电池中的应用 | 第32-33页 |
| 1.4.2 在气敏元件中的应用 | 第33-34页 |
| 1.5 本课题研究的意义和主要内容 | 第34-37页 |
| 1.5.1 本课题研究的意义 | 第34页 |
| 1.5.2 本课题研究的主要内容 | 第34-37页 |
| 第二章 实验材料、设备和表征方法 | 第37-45页 |
| 2.1 实验材料和设备 | 第37-40页 |
| 2.1.1 实验材料 | 第37-38页 |
| 2.1.2 实验设备 | 第38-40页 |
| 2.2 薄膜的主要表征方法 | 第40-45页 |
| 2.2.1 表面形貌分析 | 第40-42页 |
| 2.2.2 晶体结构分析 | 第42页 |
| 2.2.3 光学性能测量与分析 | 第42-43页 |
| 2.2.4 电学性能测量与分析 | 第43-44页 |
| 2.2.5 品质因子 | 第44-45页 |
| 第三章 Ag/FTO双层复合薄膜炉内退火处理 | 第45-63页 |
| 3.1 引言 | 第45页 |
| 3.2 实验部分 | 第45-47页 |
| 3.2.1 Ag/FTO薄膜的制备 | 第46页 |
| 3.2.2 Ag/FTO薄膜炉内退火处理 | 第46-47页 |
| 3.2.3 实验工艺参数 | 第47页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第47-61页 |
| 3.3.1 Ag/FTO薄膜的表面形貌 | 第47-52页 |
| 3.3.2 Ag/FTO薄膜的结构 | 第52-56页 |
| 3.3.3 Ag/FTO薄膜的光学性能 | 第56-58页 |
| 3.3.4 Ag/FTO薄膜的电学性能 | 第58-60页 |
| 3.3.5 Ag/FTO薄膜的综合光电性能 | 第60-61页 |
| 3.4 本章小结 | 第61-63页 |
| 第四章 Ag/FTO双层复合薄膜炉内/激光双重退火处理 | 第63-75页 |
| 4.1 引言 | 第63-64页 |
| 4.2 实验部分 | 第64-65页 |
| 4.2.1 样品的制备 | 第64-65页 |
| 4.2.2 实验工艺参数 | 第65页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第65-74页 |
| 4.3.1 Ag/FTO薄膜炉内/激光双重退火处理 | 第65-68页 |
| 4.3.2 Ag/FTO薄膜不同退火方式的比较 | 第68-74页 |
| 4.4 本章小结 | 第74-75页 |
| 第五章 Ni/FTO双层复合薄膜磁场辅助激光退火处理 | 第75-89页 |
| 5.1 引言 | 第75页 |
| 5.2 实验部分 | 第75-77页 |
| 5.2.1 Ni/FTO薄膜的制备 | 第75-76页 |
| 5.2.2 Ni/FTO薄膜磁场辅助激光退火处理 | 第76-77页 |
| 5.3 结果与讨论 | 第77-87页 |
| 5.3.1 激光能量密度对Ni/FTO薄膜的影响 | 第77-81页 |
| 5.3.2 磁场对Ni/FTO薄膜的影响 | 第81-86页 |
| 5.3.3 磁场的作用机理 | 第86-87页 |
| 5.4 本章小结 | 第87-89页 |
| 第六章 金属/FTO双层复合薄膜激光织构化处理 | 第89-117页 |
| 6.1 引言 | 第89-90页 |
| 6.2 Pt/FTO薄膜表面激光织构化处理 | 第90-98页 |
| 6.2.1 实验部分 | 第90-91页 |
| 6.2.2 结果与讨论 | 第91-98页 |
| 6.3 不同M/FTO薄膜表面激光织构化处理 | 第98-108页 |
| 6.3.1 实验部分 | 第99页 |
| 6.3.2 结果与讨论 | 第99-108页 |
| 6.4 不同预退火M/FTO薄膜表面激光织构化处理 | 第108-116页 |
| 6.4.1 实验部分 | 第108-109页 |
| 6.4.2 结果与讨论 | 第109-116页 |
| 6.5 本章小结 | 第116-117页 |
| 第七章 AZO/金属/FTO多层复合薄膜的制备与性能优化 | 第117-133页 |
| 7.1 引言 | 第117页 |
| 7.2 AZO/Pt/FTO薄膜的制备与分析 | 第117-126页 |
| 7.2.1 实验部分 | 第117-118页 |
| 7.2.2 结果与讨论 | 第118-126页 |
| 7.3 AZO/AgNPs/FTO薄膜的制备与分析 | 第126-132页 |
| 7.3.1 实验部分 | 第127-128页 |
| 7.3.2 结果与讨论 | 第128-132页 |
| 7.4 本章小结 | 第132-133页 |
| 第八章 总结与展望 | 第133-137页 |
| 8.1 工作总结 | 第133-135页 |
| 8.2 本论文创新点 | 第135页 |
| 8.3 工作展望 | 第135-137页 |
| 参考文献 | 第137-155页 |
| 致谢 | 第155-157页 |
| 博士期间发表论文及申请和授权专利 | 第157-161页 |
| 博士期间主持和参与科研项目及获奖 | 第161页 |
