| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第8页 |
| 1.2 国内外磁场传感器技术研究现状 | 第8-12页 |
| 1.2.1 磁检测技术介绍 | 第8-10页 |
| 1.2.2 使用SAW技术的磁场传感器研究 | 第10-12页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第12-14页 |
| 第2章 声表面波换能器设计与分析 | 第14-27页 |
| 2.1 声表面波原理 | 第14-17页 |
| 2.1.1 声表面波 | 第14-15页 |
| 2.1.2 声表面波的激励与传播 | 第15-16页 |
| 2.1.3 声表面波器件的制造工艺 | 第16-17页 |
| 2.2 声表面波换能器的设计 | 第17-20页 |
| 2.2.1 单指和双指IDT | 第17-18页 |
| 2.2.2 基底材料的选择 | 第18页 |
| 2.2.3 叉指换能器结构设计 | 第18-20页 |
| 2.3 声表面波换能器仿真 | 第20-26页 |
| 2.3.1 换能器的耦合模仿真 | 第20-23页 |
| 2.3.2 换能器的有限元仿真 | 第23-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 巨磁阻抗特性和磁致伸缩特性研究 | 第27-38页 |
| 3.1 非晶微丝的巨磁阻抗特性研究 | 第27-30页 |
| 3.1.1 巨磁阻抗效应及其机理分析 | 第27-28页 |
| 3.1.2 非晶微丝的巨磁阻抗效应测试 | 第28-30页 |
| 3.2 铽镝铁合金薄膜的磁致伸缩特性研究 | 第30-37页 |
| 3.2.1 磁致伸缩效应及其机理分析 | 第31-32页 |
| 3.2.2 铽镝铁合金薄膜的制备 | 第32-34页 |
| 3.2.3 铽镝铁合金薄膜的表征 | 第34-37页 |
| 3.3 本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 磁场传感器设计 | 第38-47页 |
| 4.1 巨磁阻抗SAW磁场传感器设计 | 第38-42页 |
| 4.1.1 巨磁阻抗SAW磁场传感器原理 | 第38-41页 |
| 4.1.2 SAW换能器和非晶微丝的阻抗匹配设计 | 第41-42页 |
| 4.2 磁致伸缩SAW磁场传感器设计 | 第42-46页 |
| 4.2.1 磁致伸缩SAW磁场传感器原理 | 第42-44页 |
| 4.2.2 铽镝铁合金薄膜薄膜设计 | 第44-46页 |
| 4.3 本章小结 | 第46-47页 |
| 第5章 实验测试分析 | 第47-56页 |
| 5.1 实验测试方法介绍 | 第47-49页 |
| 5.2 声表面波换能器的测试 | 第49-50页 |
| 5.3 巨磁阻抗SAW磁场传感器实验测试结果及分析 | 第50-53页 |
| 5.3.1 巨磁阻抗SAW磁场传感器一维磁场检测 | 第50-51页 |
| 5.3.2 巨磁阻抗SAW磁场传感器二维磁场检测 | 第51-53页 |
| 5.4 磁致伸缩SAW磁场传感器实验测试结果及分析 | 第53-55页 |
| 5.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63页 |