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激光平面度仪关键技术研究

摘要第2-3页
Abstract第3-4页
1 绪论第7-14页
    1.1 课题研究背景及来源第7-8页
    1.2 激光平面生成技术及国内外的研究近况第8-12页
        1.2.1 旋转激光束形成激光平面第8-11页
        1.2.2 利用环镜形成激光平面第11页
        1.2.3 利用柱面透镜及其它光学系统产生的激光平面第11-12页
    1.3 课题的现实意义和主要研究内容第12-14页
        1.3.1 课题的现实意义第12-13页
        1.3.2 课题的主要研究内容第13-14页
2 激光平面生成与检测总体方案设计第14-27页
    2.1 激光平面形成原理第14-16页
        2.1.1 扇形激光平面的形成原理第14-15页
        2.1.2 旋转激光束法形成激光平面的原理第15-16页
        2.1.3 激光平面方案的选取第16页
    2.2 激光光斑位置检测原理第16-20页
        2.2.1 基于CCD的位置检测原理第16-17页
        2.2.2 基于PSD的位置检测原理第17-18页
        2.2.3 PSD的选型第18-20页
    2.3 激光平面的测量系统组成第20-21页
    2.4 光学系统设计方案第21-26页
        2.4.1 柱面透镜及其理论分析第22-24页
        2.4.2 鲍威尔棱镜及其理论分析第24-25页
        2.4.3 柱面透镜与鲍威尔棱镜的区别第25-26页
        2.4.4 光路原理图第26页
    2.5 本章小结第26-27页
3 数据采集系统总体设计第27-35页
    3.1 硬件的电学系统总体设计第27-28页
    3.2 一维PSD的结构和工作原理第28页
    3.3 PSD的信号处理电路的设计及调试第28-31页
        3.3.1 PSD转换电路设计第29页
        3.3.2 PSD转换电路调试第29-30页
        3.3.3 AD采集模块的设计第30-31页
    3.4 硬件电路原理图及软件程序设计第31-34页
        3.4.1 系统电路原理图设计第31-33页
        3.4.2 软件程序设计第33-34页
    3.5 本章小结第34-35页
4 实验设计及实验结果分析第35-68页
    4.1 实验平台的构建策略第35-38页
        4.1.1 实验装置的选型设计第35-37页
        4.1.2 实验平台的搭建第37-38页
    4.2 PSD静态特性指标的标定第38-50页
        4.2.1 标定方案设计框图第38-39页
        4.2.2 PSD线性度的标定第39-47页
        4.2.3 PSD分辨力的标定第47-50页
    4.3 激光平面的检测及精度分析第50-67页
        4.3.1 具体检测方案设计框图分布第50页
        4.3.2 杂散光对测量精度的影响测试第50-53页
        4.3.3 激光线宽对测量精度的影响测试第53-56页
        4.3.4 测量系统稳定性及精度分析第56-57页
        4.3.5 系统重复性测试第57-60页
        4.3.6 激光光平面的特性测试第60-67页
    4.4 本章小结第67-68页
5 结论与展望第68-71页
    5.1 结论第68页
    5.2 展望第68-71页
参考文献第71-74页
攻读硕士学位期间发表的论文第74-75页
致谢第75-78页
附录第78-85页

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