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基于激光位移传感器的石英摆片频率参数测量系统研究

摘要第5-6页
ABSTRACT第6-7页
第1章 绪论第10-16页
    1.1 课题研究的背景及意义第10-11页
    1.2 石英摆片参数测量研究现状第11-14页
        1.2.1 石英摆片几何外形测量第11页
        1.2.2 石英摆片厚度测量第11-12页
        1.2.3 石英摆片挠性梁刚度测量第12-14页
    1.3 基于激光位移传感器的石英摆片频率参数测量第14-15页
    1.4 本文主要研究内容第15-16页
第2章 石英摆片频率参数测量系统设计第16-24页
    2.1 引言第16页
    2.2 测量系统的硬件构成第16-17页
    2.3 激光位移传感器测量原理第17-18页
    2.4 测量系统的硬件构成第18-23页
        2.4.1 测量系统总体结构第18-21页
        2.4.2 激光位移传感器第21-23页
    2.5 本章小结第23-24页
第3章 测量数据质量影响因素分析第24-39页
    3.1 引言第24页
    3.2 硬件构成部分可能产生的影响及解决方案第24-27页
        3.2.1 传感器测头打光位置对测量数据的影响第25页
        3.2.2 气源强度对测量数据质量的影响第25-26页
        3.2.3 气源时间控制对测量数据的影响第26页
        3.2.4 摆片安放位置对测量数据的影响第26-27页
    3.3 有限元分析法下的石英摆片仿真分析第27-37页
        3.3.1 有限元分析第27-28页
        3.3.2 标准尺寸摆片的固有频率的有限元仿真第28-31页
        3.3.3 石英摆片固定位置对其固有频率的影响第31-35页
        3.3.4 石英摆片安装台阶发生振动的可能性第35-37页
    3.4 本章小结第37-39页
第4章 系统软件设计第39-60页
    4.1 引言第39页
    4.2 数字滤波器的设计第39-43页
    4.3 频率估计方法第43-52页
        4.3.1 频率估计方法第44-46页
        4.3.2 Rife算法第46-47页
        4.3.3 基于混合非线性迭代方法的最大似然估计算法第47-49页
        4.3.4 非线性方程求根第49-52页
    4.4 软件系统设计第52-59页
        4.4.1 MFC第52页
        4.4.2 多线程技术第52-53页
        4.4.3 初始化功能实现第53-55页
        4.4.4 气源控制的实现第55-56页
        4.4.5 振动数据采集的实现第56-57页
        4.4.6 循环测量实现第57-59页
    4.5 本章小结第59-60页
第5章 测量数据质量影响因素分析第60-68页
    5.1 引言第60页
    5.2 切比雪夫Ⅰ型滤波器滤波效果验证实验第60-61页
    5.3 最大似然算法验证实验第61-62页
    5.4 测量数据稳定性试验第62-66页
        5.4.1 传感器采样频率对测量数据质量影响试验第63-64页
        5.4.2 测量平台隔振效果对测量数据质量的影响试验第64-65页
        5.4.3 气源时间控制对测量数据的影响第65-66页
    5.5 石英摆片测量试验第66-67页
    5.6 本章小结第67-68页
结论第68-70页
参考文献第70-76页
攻读硕士学位期间发表的论文及取得的科研成果第76-77页
致谢第77-78页
附录第78页

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