| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-19页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 光学元件面形测量国内外研究现状 | 第9-14页 |
| 1.2.1 几何光线法 | 第10页 |
| 1.2.2 干涉检测法 | 第10-13页 |
| 1.2.3 直接面形轮廓检测法 | 第13-14页 |
| 1.3 光学元件表面轮廓提取方法国内外研究现状 | 第14-17页 |
| 1.3.1 多项式拟合法 | 第15页 |
| 1.3.2 滤波法 | 第15-16页 |
| 1.3.3 分形法 | 第16-17页 |
| 1.3.4 Motif 法 | 第17页 |
| 1.4 本课题研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 共焦显微轴向响应峰值 Sinc~2提取模型 | 第19-29页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 小数值孔径共焦系统轴向响应理论模型 | 第19-23页 |
| 2.3 大数值孔径共焦系统轴向响应理论模型 | 第23-26页 |
| 2.4 轴向响应 Sinc~2峰值提取模型 | 第26-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 轮廓提取方法研究 | 第29-41页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 Zernike 多项式数据拟合算法研究 | 第29-34页 |
| 3.2.1 Householder 变换法 | 第30-33页 |
| 3.2.2 协方差矩阵法 | 第33-34页 |
| 3.2.3 非球面曲线拟合效果分析 | 第34页 |
| 3.3 高斯滤波方法研究 | 第34-39页 |
| 3.3.1 闭环高斯滤波方法 | 第35-37页 |
| 3.3.2 开环高斯滤波方法 | 第37-39页 |
| 3.3.3 非球面曲线拟合效果分析 | 第39页 |
| 3.4 本章小结 | 第39-41页 |
| 第4章 基于 LabView 的测量软件设计 | 第41-55页 |
| 4.1 引言 | 第41页 |
| 4.2 测量系统硬件组成 | 第41-44页 |
| 4.2.1 共焦扫描光学测头 | 第41页 |
| 4.2.2 三维扫描硬件系统 | 第41-44页 |
| 4.3 测量软件总体方案设计 | 第44-47页 |
| 4.3.1 共焦扫描模块 | 第46页 |
| 4.3.2 数据处理模块 | 第46-47页 |
| 4.4 主要功能模块子程序 | 第47-54页 |
| 4.4.1 初始化设置子程序 | 第47-48页 |
| 4.4.2 共焦扫描与数据处理功能模块切换子程序 | 第48-49页 |
| 4.4.3 振镜扫描波形定义子程序 | 第49-51页 |
| 4.4.4 振镜控制与数据采集同步子程序 | 第51-52页 |
| 4.4.5 扫描信息生成子程序 | 第52-53页 |
| 4.4.6 峰值提取和数据滤波子程序 | 第53-54页 |
| 4.5 本章小结 | 第54-55页 |
| 第5章 实验结果及分析 | 第55-66页 |
| 5.1 引言 | 第55页 |
| 5.2 平面镜测量实验 | 第55-57页 |
| 5.3 台阶样品测量实验 | 第57-61页 |
| 5.3.1 台阶高度评定方法介绍 | 第57-59页 |
| 5.3.2 台阶高度样品测量实验 | 第59-61页 |
| 5.4 平凸透镜测量实验 | 第61-63页 |
| 5.5 非球面基底衍射元件测量实验 | 第63-65页 |
| 5.6 本章小结 | 第65-66页 |
| 结论 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-72页 |
| 致谢 | 第72页 |