基于AWG的2bit光延时集成器件的研究与制备
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 波导延迟线研究意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国外波导延时线的发展情况 | 第9-10页 |
| 1.3 阵列波导光栅的研究进展 | 第10-13页 |
| 1.4 本论文主要研究内容 | 第13-15页 |
| 第二章 阵列波导光栅理论基础 | 第15-33页 |
| 2.1 平板波导模式理论 | 第15-24页 |
| 2.1.1 平板波导的传输模式 | 第15-17页 |
| 2.1.2 平面波导传输模式的电磁场分析 | 第17-19页 |
| 2.1.3 三维波导传输模式的理论分析 | 第19-24页 |
| 2.2 阵列波导光栅的相关理论 | 第24-32页 |
| 2.2.1 罗兰圆原理 | 第24-26页 |
| 2.2.2 AWG结构 | 第26页 |
| 2.2.3 AWG基本物理量表达式 | 第26-30页 |
| 2.2.4 AWG性能分析 | 第30-32页 |
| 2.3 本章总结 | 第32-33页 |
| 第三章 1×8阵列波导光栅的设计 | 第33-41页 |
| 3.1 参数设定 | 第33-36页 |
| 3.2 软件对设计参数的模拟 | 第36-39页 |
| 3.2.1 波导损耗模拟分析 | 第37-38页 |
| 3.2.2 阵列波导光栅的模拟和分析 | 第38-39页 |
| 3.3 本章总结 | 第39-41页 |
| 第四章 1×8阵列波导光栅的制备与测试 | 第41-53页 |
| 4.1 制各工艺与材料选择 | 第41-43页 |
| 4.1.1 材料选择 | 第41-42页 |
| 4.1.2 制备工艺的选择 | 第42-43页 |
| 4.2 掩膜版设计 | 第43页 |
| 4.3 阵列波导光栅的制备中的关键工艺分析 | 第43-45页 |
| 4.4 阵列波导光栅的制备过程 | 第45-49页 |
| 4.5 1×8阵列波导光栅器件的性能测试与分析 | 第49-51页 |
| 4.6 本章总结 | 第51-53页 |
| 第五章 光波导延时线的设计及制作 | 第53-63页 |
| 5.1 光波导延时线理论基础 | 第53-55页 |
| 5.2 光波导延时线结构设计 | 第55-58页 |
| 5.2.1 结构选择 | 第55页 |
| 5.2.2 波导横截面几何尺寸 | 第55-56页 |
| 5.2.3 波导曲率半径R选择 | 第56页 |
| 5.2.4 波导间隔D | 第56-57页 |
| 5.2.5 最终设计所得掩膜版 | 第57-58页 |
| 5.3 聚合物波导延时线的制备 | 第58-60页 |
| 5.3.1 制作工艺简述 | 第58页 |
| 5.3.2 制作工艺参数 | 第58-59页 |
| 5.3.3 波导的制备 | 第59-60页 |
| 5.4 波导损耗性能的测量和分析 | 第60-62页 |
| 5.4.1 搭建测试系统 | 第60-61页 |
| 5.4.2 测量结果 | 第61-62页 |
| 5.5 本章总结 | 第62-63页 |
| 第六章 基于AWG的可调谐波导延时线的研究制备 | 第63-67页 |
| 6.1 基于1×4AWG可调谐波导延时线的设计 | 第63-64页 |
| 6.2 AWG基可调谐波导延时线的制备和测试 | 第64-67页 |
| 总结与展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 攻读硕士期间发表论文 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
