| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-12页 |
| 1.2.1 质量流量控制器国内外研究现状 | 第10-11页 |
| 1.2.2 虚拟仪器技术的国内外研究现状 | 第11-12页 |
| 1.2.3 质量流量控制器检测设备国内外研究现状 | 第12页 |
| 1.3 课题主要研究内容 | 第12-15页 |
| 1.3.1 质量流量控制器（MFC）的工作原理与重要部件失效机理 | 第12页 |
| 1.3.2 质量流量控制器（MFC）各部件老化的机理与方案 | 第12页 |
| 1.3.3 虚拟仪器技术的研究 | 第12-13页 |
| 1.3.4 LabVIEW程序设计方法 | 第13-15页 |
| 第2章 虚拟仪器 | 第15-21页 |
| 2.1 虚拟仪器简介 | 第15页 |
| 2.2 虚拟仪器的特点 | 第15-16页 |
| 2.3 虚拟仪器的构成 | 第16-18页 |
| 2.3.1 虚拟仪器的硬件设备 | 第17页 |
| 2.3.2 虚拟仪器的软件结构 | 第17-18页 |
| 2.4 虚拟仪器开发平台——LabVIEW | 第18页 |
| 2.5 基于LabVIEW平台的虚拟仪器程序设计 | 第18-19页 |
| 2.6 本章小结 | 第19-21页 |
| 第3章 系统总体设计 | 第21-33页 |
| 3.1 质量流量控制器（MFC）的结构和工作原理 | 第21-22页 |
| 3.2 质量流量控制器（MFC）主要部件失效模式与机理 | 第22-23页 |
| 3.2.1 电磁阀失效 | 第22-23页 |
| 3.2.2 传感器失效 | 第23页 |
| 3.2.3 电路板失效 | 第23页 |
| 3.3 质量流量控制器（MFC）的可靠性预计 | 第23-26页 |
| 3.3.1 MFC的可靠性框图 | 第23-24页 |
| 3.3.2 机械部分可靠性预计 | 第24页 |
| 3.3.3 电气部分可靠性预计 | 第24-25页 |
| 3.3.4 可靠性预计结果 | 第25-26页 |
| 3.4 系统原理模型与老化方案 | 第26-27页 |
| 3.5 系统总体架构 | 第27-32页 |
| 3.5.1 系统功能模块 | 第27-28页 |
| 3.5.2 各功能模块的实现 | 第28-30页 |
| 3.5.3 系统结构设计 | 第30-32页 |
| 3.6 本章小结 | 第32-33页 |
| 第4章 系统软件设计 | 第33-49页 |
| 4.1 软件流程 | 第33-38页 |
| 4.1.1 主线程 | 第33-34页 |
| 4.1.2 采集控制线程 | 第34-37页 |
| 4.1.3 状态指示线程 | 第37-38页 |
| 4.2 软件界面和功能 | 第38-48页 |
| 4.2.1 软件安装 | 第38-39页 |
| 4.2.2 参数设置 | 第39-40页 |
| 4.2.3 程序主界面 | 第40-45页 |
| 4.2.4 操作说明 | 第45-48页 |
| 4.2.5 注意事项 | 第48页 |
| 4.3 本章小结 | 第48-49页 |
| 第5章 系统的应用测试 | 第49-63页 |
| 5.1 外观与结构 | 第49页 |
| 5.2 技术性能测试 | 第49-62页 |
| 5.2.1 状态指示灯测试 | 第49-50页 |
| 5.2.2 阀信号和设定信号测试 | 第50-54页 |
| 5.2.3 电源电压测试 | 第54-56页 |
| 5.2.4 串扰试验 | 第56-61页 |
| 5.2.5 系统整体运行测试 | 第61-62页 |
| 5.3 补充说明及测试结论 | 第62-63页 |
| 5.3.1 补充说明 | 第62页 |
| 5.3.2 测试结论 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 附表 | 第68-77页 |
