| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 课题目的与意义 | 第10-11页 |
| 1.2 TRISO包覆燃料颗粒 | 第11-14页 |
| 1.2.1 TRISO包覆燃料颗粒发展历程 | 第11-12页 |
| 1.2.2 TRISO包覆燃料颗粒组成分析 | 第12页 |
| 1.2.3 TRISO结构SiC层的失效 | 第12-14页 |
| 1.3 TRISO结构SiC层的改进途径 | 第14-16页 |
| 1.4 化学气相沉积技术 | 第16-17页 |
| 1.5 ZrC涂层与ZrC/SiC复合涂层的研究进展 | 第17-21页 |
| 1.5.1 ZrC涂层研究进展 | 第17-20页 |
| 1.5.2 ZrC/SiC复合涂层研究进展 | 第20-21页 |
| 1.6 主要研究内容 | 第21-22页 |
| 第2章 实验过程与研究方法 | 第22-28页 |
| 2.1 引言 | 第22页 |
| 2.2 涂层制备的原材料 | 第22-24页 |
| 2.3 涂层制备的实验设备 | 第24页 |
| 2.4 涂层沉积工艺 | 第24-27页 |
| 2.4.1 ZrC涂层沉积工艺 | 第24-25页 |
| 2.4.2 ZrC/SiC复合涂层两步法沉积工艺 | 第25-26页 |
| 2.4.3 ZrC/SiC复合涂层一步法沉积工艺 | 第26-27页 |
| 2.5 结构与性能测试 | 第27-28页 |
| 2.5.1 X射线衍射分析 | 第27页 |
| 2.5.2 扫描电子显微镜分析 | 第27页 |
| 2.5.3 电子能谱分析 | 第27页 |
| 2.5.4 X射线光电子能谱分析 | 第27页 |
| 2.5.5 激光拉曼测试分析 | 第27页 |
| 2.5.6 激光共聚焦粗糙度分析 | 第27-28页 |
| 第3章 化学气相沉积法制备ZrC涂层的工艺研究 | 第28-45页 |
| 3.1 热力学计算与沉积工艺 | 第28-30页 |
| 3.2 沉积温度对ZrC涂层的影响 | 第30-36页 |
| 3.2.1 沉积温度对ZrC涂层物相分析的影响 | 第30-32页 |
| 3.2.2 沉积温度对ZrC涂层表面形貌的影响 | 第32-34页 |
| 3.2.3 沉积温度对ZrC涂层截面结构的影响 | 第34-36页 |
| 3.3 沉积时间对ZrC涂层的影响 | 第36-40页 |
| 3.3.1 沉积时间对ZrC涂层物相分析的影响 | 第36-38页 |
| 3.3.2 沉积时间对ZrC涂层表面形貌的影响 | 第38-39页 |
| 3.3.3 沉积时间对ZrC涂层粗糙度测试的影响 | 第39-40页 |
| 3.4 H_2流量对ZrC涂层的影响 | 第40-44页 |
| 3.4.1 H_2流量对ZrC涂层物相分析的影响 | 第41-42页 |
| 3.4.2 H_2流量对ZrC涂层表面形貌的影响 | 第42-43页 |
| 3.4.3 H_2流量对ZrC涂层截面结构的影响 | 第43-44页 |
| 3.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 两步法制备ZrC/SiC复合涂层的工艺研究 | 第45-59页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 沉积温度对SiC涂层的影响 | 第45-50页 |
| 4.2.1 沉积温度对SiC涂层物相组成的影响 | 第45-47页 |
| 4.2.2 沉积温度对SiC涂层表面形貌的影响 | 第47-48页 |
| 4.2.3 沉积温度对SiC涂层元素组成的影响 | 第48-50页 |
| 4.3 沉积位置对SiC涂层的影响 | 第50-54页 |
| 4.3.1 沉积位置对SiC涂层物相组成的影响 | 第51-52页 |
| 4.3.2 沉积位置对SiC涂层表面形貌的影响 | 第52-54页 |
| 4.4 沉积温度对复合涂层的影响 | 第54-58页 |
| 4.4.1 沉积温度对复合涂层物相组成的影响 | 第55-56页 |
| 4.4.2 沉积温度对复合涂层表面形貌的影响 | 第56-57页 |
| 4.4.3 沉积温度对复合涂层截面形貌的影响 | 第57-58页 |
| 4.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 第5章 一步法制备ZrC/SiC复合涂层的工艺研究 | 第59-71页 |
| 5.1 引言 | 第59页 |
| 5.2 沉积温度对复合涂层的影响 | 第59-64页 |
| 5.2.1 沉积温度对复合涂层物相组成的影响 | 第59-62页 |
| 5.2.2 沉积温度对复合涂层表面形貌的影响 | 第62页 |
| 5.2.3 沉积温度对复合涂层截面形貌的影响 | 第62-64页 |
| 5.3 沉积时间对ZrC/SiC复合涂层的影响 | 第64-70页 |
| 5.3.1 沉积时间对复合涂层物相组成的影响 | 第64-66页 |
| 5.3.2 沉积时间对复合涂层表面形貌的影响 | 第66-67页 |
| 5.3.3 沉积时间对复合涂层表面粗糙度的影响 | 第67-69页 |
| 5.3.4 沉积时间对复合涂层截面形貌的影响 | 第69-70页 |
| 5.4 本章小结 | 第70-71页 |
| 结论 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-77页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第77-79页 |
| 致谢 | 第79页 |
