| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第1章 绪论 | 第7-20页 |
| 1.1 引言 | 第7-9页 |
| 1.2 研究现状综述 | 第9-15页 |
| 1.2.1 PECVD技术的研究发展现状 | 第9-10页 |
| 1.2.2 多学科协同设计 | 第10-13页 |
| 1.2.3 Agent模型和多Agent系统研究 | 第13-15页 |
| 1.3 实验设计方法 | 第15-17页 |
| 1.4 研究背景 | 第17页 |
| 1.5 本文的主要研究内容 | 第17-20页 |
| 第2章 基于Agent的PECVD腔室仿真软件系统框架 | 第20-31页 |
| 2.1 PECVD工艺腔室的特点 | 第20-21页 |
| 2.2 基于Agent协同设计的特点要素分析 | 第21-23页 |
| 2.2.1 多学科设计的特点难点 | 第21-22页 |
| 2.2.2 多Agent系统模型的特点 | 第22-23页 |
| 2.3 基于Agent的建模与仿真 | 第23-25页 |
| 2.3.1 ABMS的主要思想 | 第24页 |
| 2.3.2 ABMS的特点 | 第24-25页 |
| 2.4 PECVD仿真软件系统框架 | 第25-29页 |
| 2.4.1 Agent模型的建立 | 第25-28页 |
| 2.4.2 PECVD软件系统框架 | 第28-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-31页 |
| 第3章 PECVD工艺腔室仿真软件系统的实现技术 | 第31-49页 |
| 3.1 软件系统总体功能方案 | 第31-36页 |
| 3.1.1 系统运行逻辑关系定义 | 第31-33页 |
| 3.1.2 系统功能模块定义 | 第33-36页 |
| 3.2 软件系统技术方案 | 第36-37页 |
| 3.3 基于XML文档的数据交换技术 | 第37-42页 |
| 3.3.1 流程XML | 第37-41页 |
| 3.3.2 辅助XML | 第41页 |
| 3.3.3 模板XML | 第41-42页 |
| 3.4 PECVD软件系统的工作流 | 第42-46页 |
| 3.4.1 求解器端准备工作 | 第42-44页 |
| 3.4.2 平台端对求解器模块的调用 | 第44-45页 |
| 3.4.3 求解器端仿真工作 | 第45-46页 |
| 3.5 PECVD软件系统的数据流 | 第46-48页 |
| 3.5.1 软件系统的数据传递方式 | 第46-47页 |
| 3.5.2 Agent模块的设计模型及数据传递方式 | 第47-48页 |
| 3.6 本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 软件系统针对PECVD腔室气流均匀性的设计应用 | 第49-58页 |
| 4.1 PECVD腔室优化问题描述 | 第49-51页 |
| 4.2 软件系统的任务流程 | 第51-53页 |
| 4.3 二次回归正交实验设计方法 | 第53-54页 |
| 4.4 实验结果与分析 | 第54-57页 |
| 4.4.1 二因素全范围实验结果与分析 | 第54-56页 |
| 4.4.2 精细化实验设计与分析 | 第56-57页 |
| 4.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 总结与展望 | 第58-60页 |
| 5.1 本文主要成果 | 第58页 |
| 5.2 后续工作展望 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 致谢 | 第64-66页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第66页 |
