| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 主要符号对照表 | 第9-11页 |
| 第1章 引言 | 第11-36页 |
| 1.1 金属氧化物薄膜晶体管概述 | 第11-21页 |
| 1.1.1 晶体管发展概述 | 第11-12页 |
| 1.1.2 薄膜晶体管器件结构和工作原理 | 第12-16页 |
| 1.1.3 金属氧化物半导体材料研究概述 | 第16-17页 |
| 1.1.4 金属氧化物薄膜制备工艺 | 第17-21页 |
| 1.2 湿法制备金属氧化物薄膜晶体管研究进展 | 第21-34页 |
| 1.2.1 金属氧化物半导体材料的湿法制备及性质研究 | 第21-27页 |
| 1.2.2 绝缘层材料开发和器件界面修饰研究 | 第27-31页 |
| 1.2.3 面向可集成和有源驱动应用的研究 | 第31-34页 |
| 1.3 当前研究中存在的问题 | 第34-35页 |
| 1.4 论文的研究思路与主要内容 | 第35-36页 |
| 第2章 实验方法与技术 | 第36-46页 |
| 2.1 试剂与仪器 | 第36-38页 |
| 2.1.1 主要试剂 | 第36-37页 |
| 2.1.2 主要仪器 | 第37-38页 |
| 2.2 薄膜表征 | 第38-41页 |
| 2.2.1 薄膜结晶特性分析 | 第38-39页 |
| 2.2.2 薄膜成分和元素结合状态分析 | 第39-40页 |
| 2.2.3 薄膜表面形貌分析 | 第40-41页 |
| 2.3 薄膜晶体管的制备与测试 | 第41-46页 |
| 2.3.1 晶体管器件制备流程 | 第41-42页 |
| 2.3.2 基片清洗工艺 | 第42-43页 |
| 2.3.3 半导体层和绝缘层制备方法 | 第43-44页 |
| 2.3.4 金属电极制备方法 | 第44-45页 |
| 2.3.5 晶体管器件性能测试 | 第45-46页 |
| 第3章 湿法制备的氧化锌锡半导体薄膜结构和性质研究 | 第46-69页 |
| 3.1 研究背景 | 第46-47页 |
| 3.2 半导体层前驱体材料的热分解性质研究 | 第47-48页 |
| 3.3 晶态氧化锌锡薄膜的湿法制备及其结构和性质研究 | 第48-61页 |
| 3.3.1 氧化锌锡薄膜的制备方法 | 第48-49页 |
| 3.3.2 热处理方式对氧化锌锡薄膜结晶特性的影响 | 第49-50页 |
| 3.3.3 水分添加对前驱体溶液性质和氧化锌锡薄膜结构的影响 | 第50-59页 |
| 3.3.4 钇或镧掺杂对氧化锌锡薄膜结构的影响 | 第59-61页 |
| 3.4 基于原子层沉积氧化铝绝缘层的氧化锌锡薄膜晶体管器件 | 第61-68页 |
| 3.4.1 绝缘层表征及器件制备 | 第61-63页 |
| 3.4.2 水分添加含量对薄膜晶体管器件性能的影响 | 第63-65页 |
| 3.4.3 钇或镧掺杂对薄膜晶体管器件性能的影响 | 第65-68页 |
| 3.5 本章小结 | 第68-69页 |
| 第4章 基于湿法绝缘层的氧化锌锡薄膜晶体管研究 | 第69-90页 |
| 4.1 研究背景 | 第69-70页 |
| 4.2 绝缘层前驱体材料的热分解性质研究 | 第70-72页 |
| 4.3 绝缘层薄膜的湿法制备及其结构和性质研究 | 第72-77页 |
| 4.3.1 绝缘层薄膜的制备方法 | 第72-73页 |
| 4.3.2 绝缘层薄膜的结晶特性和电容器件性能表征 | 第73-75页 |
| 4.3.3 基于不同绝缘层的氧化锌锡薄膜晶体管器件 | 第75-77页 |
| 4.4 在氧化铝上制备的氧化锌锡薄膜结构研究 | 第77-85页 |
| 4.4.1 水分添加与分段式升温热处理对薄膜结构的影响 | 第77-80页 |
| 4.4.2 前驱体中Zn/Sn比例变化对薄膜结构的影响 | 第80-85页 |
| 4.5 基于湿法氧化铝绝缘层的氧化锌锡薄膜晶体管器件研究 | 第85-89页 |
| 4.5.1 水分添加与分段式升温热处理对器件性能的影响 | 第85-87页 |
| 4.5.2 前驱体中Zn/Sn比例变化对器件性能的影响 | 第87-89页 |
| 4.6 本章小结 | 第89-90页 |
| 第5章 湿法制备的氧化锡薄膜及其晶体管性质研究 | 第90-109页 |
| 5.1 研究背景 | 第90-92页 |
| 5.2 氧化锡前驱体材料的热分解性质研究 | 第92-93页 |
| 5.3 氧化锡薄膜的湿法制备及其结构和性质研究 | 第93-102页 |
| 5.3.1 氧化锡薄膜的制备方法 | 第93页 |
| 5.3.2 热处理温度对薄膜结构的影响 | 第93-97页 |
| 5.3.3 前驱体浓度对薄膜结构的影响 | 第97-99页 |
| 5.3.4 氧化铝/氧化锡表界面性质研究 | 第99-102页 |
| 5.4 湿法制备的氧化锡薄膜晶体管器件及其有源驱动研究 | 第102-108页 |
| 5.4.1 湿法制备的氧化锡薄膜晶体管器件性能研究 | 第102-107页 |
| 5.4.2 单个氧化锡薄膜晶体管驱动有机发光二极管 | 第107-108页 |
| 5.5 本章小结 | 第108-109页 |
| 结论 | 第109-111页 |
| 展望 | 第111-113页 |
| 参考文献 | 第113-126页 |
| 致谢 | 第126-128页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第128页 |
