| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-33页 |
| 1.1 铁电材料的介绍 | 第11-15页 |
| 1.2 铁电隧道结 | 第15-22页 |
| 1.2.1 铁电隧道结的介绍 | 第15-18页 |
| 1.2.2 基于BaTiO_3的铁电隧道结 | 第18-22页 |
| 1.3 铁电二极管 | 第22-26页 |
| 1.3.1 铁电二极管的介绍 | 第22-25页 |
| 1.3.2 基于铌酸钠钾薄膜的铁电二极管的性能探究 | 第25-26页 |
| 1.4 本论文的内容、研究目的和工作意义 | 第26-28页 |
| 参考文献 | 第28-33页 |
| 第二章 材料与器件的制备工艺和表征方法 | 第33-49页 |
| 2.1 PLD方法制备BaTiO_3超薄膜 | 第33-36页 |
| 2.1.1 用于PLD的BaTiO_3陶瓷靶材的烧结 | 第33-34页 |
| 2.1.2 脉冲激光沉积的介绍 | 第34-36页 |
| 2.2 磁控溅射的介绍 | 第36-38页 |
| 2.2.1 射频磁控溅射生长(K,Na)NbO_3和LaNiO_3氧化物 | 第36-37页 |
| 2.2.2 磁控溅射生长金属Pt | 第37-38页 |
| 2.3 各种薄膜的表征和测试方法 | 第38-47页 |
| 2.3.1 X射线衍射 | 第38-39页 |
| 2.3.2 透射电子显微镜 | 第39-43页 |
| 2.3.3 扫描电子显微镜 | 第43页 |
| 2.3.4 扫描探针显微镜 | 第43-46页 |
| 2.3.5 电学测试系统 | 第46页 |
| 2.3.6 铁电极化翻转脉冲时间测试系统 | 第46-47页 |
| 2.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-49页 |
| 第三章 基于BaTiO_3超薄膜的铁电隧道结的电致电阻效应 | 第49-67页 |
| 3.1 单晶衬底的化学腐蚀处理 | 第49-52页 |
| 3.2 BaTiO_3薄膜的生长条件 | 第52-55页 |
| 3.3 BaTiO_3/La_(0.67)Sr_(0.33)MnO_3异质结的制备和表征 | 第55-56页 |
| 3.4 铁电极化调控电子隧穿行为 | 第56-63页 |
| 3.5 本章小结 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-67页 |
| 第四章 (K,Na)NbO_3薄膜极化控制的阻变行为 | 第67-82页 |
| 4.1 LNO和KNN薄膜的制备 | 第67-69页 |
| 4.2 KNN薄膜的结构和压电性能表征 | 第69-71页 |
| 4.3 Pt/KNN/LNO器件的电学性能 | 第71-74页 |
| 4.4 Pt/KNN/LNO器件的电阻转变性能测试 | 第74-78页 |
| 4.5 本章小结 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-82页 |
| 第五章 结论与展望 | 第82-84页 |
| 5.1 结论 | 第82-83页 |
| 5.2 展望 | 第83-84页 |
| 硕士期间发表的文章 | 第84-86页 |
| 致谢 | 第86-88页 |
