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PLD法制备SnS、ZnS薄膜及其器件的研究

致谢第7-8页
摘要第8-9页
ABSTRACT第9-10页
第一章 绪论第15-21页
    1.1 太阳能电池介绍第15-18页
        1.1.1 太阳能电池的意义第15页
        1.1.2 太阳能电池的工作原理第15页
        1.1.3 太阳能电池的性能表征第15-18页
    1.2 太阳能电池的分类第18-20页
        1.2.1 晶体硅太阳能电池第18-19页
        1.2.2 薄膜太阳能电池第19-20页
    1.3 薄膜太阳能电池的发展前景第20页
    1.4 本文的目的和内容第20-21页
第二章 SnS薄膜太阳能电池材料第21-25页
    2.1 SnS薄膜材料第21页
    2.2 SnS薄膜及器件的研究进展第21-22页
    2.3 SnS薄膜的制备方法第22-25页
第三章 SnS、ZnS薄膜制备设备及表征仪器第25-32页
    3.1 脉冲激光沉积系统第25-26页
    3.2 快速退火系统第26-27页
    3.3 X射线衍射仪第27-28页
    3.4 拉曼光谱第28页
    3.5 场发射扫描电子显微镜第28-29页
    3.6 原子力显微镜第29-30页
    3.7 紫外可见近红外分光光度计第30-31页
    3.8 半导体特征分析系统第31页
    3.9 本章小结第31-32页
第四章 脉冲激光沉积结合快速退火制备SnS薄膜及其表征第32-44页
    4.1 引言第32页
    4.2 实验过程第32-33页
        4.2.1 SnS薄膜的制备第32页
        4.2.2 测试方法第32-33页
    4.3 结果与分析第33-43页
        4.3.1 薄膜晶体结构分析第33-36页
        4.3.2 薄膜拉曼光谱分析第36-37页
        4.3.3 薄膜组分分析第37-38页
        4.3.4 薄膜表面形貌分析第38-40页
        4.3.5 薄膜断面形貌分析第40页
        4.3.6 薄膜光学特性第40-43页
    4.4 本章小结第43-44页
第五章 脉冲激光沉积制备ZnS薄膜第44-54页
    5.1 引言第44页
    5.2 实验第44-45页
        5.2.1 ZnS薄膜的制备第44-45页
        5.2.2 测试方法第45页
    5.3 结果与分析第45-52页
        5.3.1 薄膜晶体结构分析第45-48页
        5.3.2 ZnS薄膜的光学特性第48-52页
    5.4 本章结论第52-54页
第六章 SnS/ZnS异质结器件第54-58页
    6.1 SnS/ZnS异质结器件的结构和制备第54页
    6.2 In与SnS、ZnS薄膜的接触第54-56页
    6.3 SnS/ZnS异质结的I-V特性第56-57页
    6.4 本章小结第57-58页
第七章 总结第58-59页
参考文献第59-63页
攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况第63页

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