| 中文摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 基于EWOD技术的MEMS数字微流控芯片国内外研究现状 | 第9-14页 |
| 1.2 本课题的研究目的以及研究内容 | 第14-16页 |
| 1.2.1 数字微流控芯片存在的局限性 | 第14页 |
| 1.2.2 本课题的研究目的与意义 | 第14-15页 |
| 1.2.3 本文的主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第二章 开放式数字微流控芯片的设计理论与性能评价方法 | 第16-25页 |
| 2.1 电润湿与EWOD驱动原理 | 第16-17页 |
| 2.2 开放式数字微流控芯片设计理论与加工工艺 | 第17-20页 |
| 2.3 对比实验与性能评价 | 第20-23页 |
| 2.3.1 阈值电压 | 第21页 |
| 2.3.2 数字化驱动性能 | 第21-23页 |
| 2.3.3 二维拓展性 | 第23页 |
| 2.4 本章小结 | 第23-25页 |
| 第三章 低电压高通量数字微流控芯片设计与性能评价 | 第25-33页 |
| 3.1 低电压高通量数字微流控芯片设计方案 | 第25-26页 |
| 3.2 模型分析 | 第26-30页 |
| 3.2.1 电路模型分析 | 第26-27页 |
| 3.2.2 系统能量与液滴受力分析 | 第27-30页 |
| 3.3 实验验证与性能对比 | 第30-32页 |
| 3.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第四章 开放式EWOD驱动器运输液滴的动态饱和现象与动力学模型 | 第33-46页 |
| 4.1 开放式EWOD运输液滴的动态饱和现象 | 第33-34页 |
| 4.2 开放式EWOD驱动器运输液滴动态饱和模型 | 第34-40页 |
| 4.3 模型参数讨论 | 第40-45页 |
| 4.3.1 电润湿系数，M | 第41页 |
| 4.3.2 介电层厚度与介电系数 | 第41-42页 |
| 4.3.3 超疏水表面 | 第42-44页 |
| 4.3.4 界面电子与接触角饱和现象 | 第44-45页 |
| 4.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第五章 MEMS数字微流控芯片与压电生物化学传感器单片集成 | 第46-59页 |
| 5.1 EWOD与压电生物传感器集成方案 | 第46-48页 |
| 5.2 EWOD与压电生物传感器集成关键技术 | 第48-53页 |
| 5.2.1 Teflon Lift-off方案 | 第49-50页 |
| 5.2.2 硅烷化试剂选择性疏水修饰方案 | 第50-53页 |
| 5.3 硅烷化试剂选择性疏水修饰的FBAR质量传感器性能 | 第53-55页 |
| 5.4 汞离子实验与信号增强效应 | 第55-56页 |
| 5.5 压电MEMS数字微流控技术 | 第56-58页 |
| 5.6 本章小结 | 第58-59页 |
| 第六章 总结与展望 | 第59-61页 |
| 6.1 论文完成的主要工作 | 第59页 |
| 6.2 论文的创新点 | 第59-60页 |
| 6.3 有待解决的问题 | 第60页 |
| 6.4 后期工作展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-66页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
