| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-13页 |
| 1.3 目前国内外研究存在的问题 | 第13-14页 |
| 1.4 本文研究内容及创新点 | 第14-16页 |
| 1.4.1 研究内容 | 第14-15页 |
| 1.4.2 研究特色 | 第15页 |
| 1.4.3 创新点 | 第15-16页 |
| 第二章 梳状微谐振器的理论基础 | 第16-30页 |
| 2.1 硅微谐振器的分类 | 第16-17页 |
| 2.2 静电驱动横向振动梳状微谐振器的结构和工作原理 | 第17-22页 |
| 2.2.1 梳状微谐振器的横向静电力分析 | 第19-21页 |
| 2.2.2 梳状微谐振器的纵向静电力分析 | 第21-22页 |
| 2.3 梳状微谐振器的能量损耗机理 | 第22-28页 |
| 2.3.1 梳状微谐振器等效空气阻尼分析 | 第22-25页 |
| 2.3.2 梳状微谐振器等效热弹性阻尼分析 | 第25-28页 |
| 2.4 有限元分析原理 | 第28-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 梳齿间距工艺误差对微谐振器动力学性能的影响 | 第30-43页 |
| 3.1 梳齿间距工艺误差的分析 | 第30-31页 |
| 3.2 微谐振器静电结构耦合分析过程 | 第31-35页 |
| 3.2.1 梳齿偏移、初始交叠长度及偏置电压对电场分布的影响 | 第31-34页 |
| 3.2.2 梳齿偏移、初始交叠长度及偏置电压对梳齿变形的影响 | 第34-35页 |
| 3.3 梳齿偏移对吸合电压的影响 | 第35-36页 |
| 3.4 梳齿偏移引起的预应力对微谐振器模态和固有频率的影响 | 第36-41页 |
| 3.4.1 有限元分析结果的可靠性验证 | 第36-37页 |
| 3.4.2 偏移及交叠长度对静电力的影响 | 第37-39页 |
| 3.4.3 预应力对微谐振器动力学特性影响 | 第39-41页 |
| 3.4.3.1 边缘效应对固有频率的影响 | 第39页 |
| 3.4.3.2 加工误差及结构参数对微谐振器模态的影响 | 第39-40页 |
| 3.4.3.3 初始重叠长度及偏移量对固有频率的影响 | 第40-41页 |
| 3.5 本章小结 | 第41-43页 |
| 第四章 结构参数对微谐振器模态和固有频率的影响 | 第43-48页 |
| 4.1 不同结构参数下对微谐振器模态及固有频率的分析 | 第43-47页 |
| 4.1.1 支撑梁长度对微谐振器性能的影响 | 第43-45页 |
| 4.1.2 梳齿长度对微谐振器性能的影响 | 第45-46页 |
| 4.1.3 梳齿个数对微谐振器性能的影响 | 第46-47页 |
| 4.2 本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 微谐振器的温度特性研究 | 第48-56页 |
| 5.1 温度对微谐振器结构尺寸的影响 | 第48-49页 |
| 5.2 温度对微谐振器谐振频率的影响 | 第49-50页 |
| 5.3 温度对微谐振器品质因子的影响 | 第50-55页 |
| 5.3.1 只考虑空气阻尼时温度对系统品质因子的影响 | 第51-52页 |
| 5.3.2 真空封装热弹性阻尼对系统品质因子的影响 | 第52-55页 |
| 5.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 第六章 总结与展望 | 第56-58页 |
| 6.1 全文总结 | 第56页 |
| 6.2 问题与展望 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
