| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| ·课题研究的目的与意义 | 第10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-14页 |
| ·本文研究内容和创新之处 | 第14-15页 |
| ·本文结构 | 第15-17页 |
| 第二章 微带环缝谐振器的理论分析 | 第17-23页 |
| ·微带环缝谐振器的结构 | 第17-18页 |
| ·微带环缝谐振器的电模型 | 第18-19页 |
| ·微带环缝谐振器的性能分析 | 第19-22页 |
| ·输入阻抗分析 | 第19-20页 |
| ·缝隙间电势差分析 | 第20-21页 |
| ·缝隙间电场分析 | 第21-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 等离子体放电的建模与分析 | 第23-28页 |
| ·等离子体阻抗建模与分析 | 第23-25页 |
| ·等离子体缝隙间放电模型分析 | 第25-27页 |
| ·供电效率与Q值分析 | 第26页 |
| ·供电电压分析 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第四章 等离子体源的封装和工艺 | 第28-32页 |
| ·制造工艺 | 第28-29页 |
| ·混合封装 | 第29-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第五章 2.45GHz微带环缝谐振器的数值仿真与实验测试 | 第32-47页 |
| ·设计目标 | 第32页 |
| ·不同介质材料的普通MSRR和尖端放电式MSRR仿真与分析 | 第32-42页 |
| ·氧化铝陶瓷介质的三种结构设计 | 第33-35页 |
| ·三种不同介质的小尺寸圆头放电式MSRR设计 | 第35-40页 |
| ·缝隙间介质挖槽 | 第40-42页 |
| ·封装仿真 | 第42-44页 |
| ·实物制作与测量 | 第44-46页 |
| ·本章总结 | 第46-47页 |
| 第六章 等离子体激发后的仿真 | 第47-51页 |
| ·模型定义 | 第47-48页 |
| ·等离子体化学 | 第47-48页 |
| ·仿真与分析 | 第48-50页 |
| ·压强对等离子体反应的影响 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第七章 总结与展望 | 第51-53页 |
| ·总结 | 第51页 |
| ·展望 | 第51-53页 |
| 研究生阶段发表论文 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 致谢 | 第58页 |