| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 磁性薄膜 | 第9-10页 |
| 1.2 柔性磁性薄膜 | 第10-11页 |
| 1.3 磁各向异性 | 第11-13页 |
| 1.4 磁化机制 | 第13-16页 |
| 1.5 磁各向异性与高频磁性 | 第16-17页 |
| 1.6 薄膜的制备与性能表征 | 第17-20页 |
| 1.6.1 磁控溅射 | 第17页 |
| 1.6.2 X射线反射 | 第17-18页 |
| 1.6.3 原子力显微镜 | 第18页 |
| 1.6.4 振动样品磁强计 | 第18-19页 |
| 1.6.5 矢量网络分析仪 | 第19页 |
| 1.6.6 磁学测量系统 | 第19-20页 |
| 1.7 本论文研究内容 | 第20-21页 |
| 第二章 柔性褶皱FeGa/PDMS薄膜表面形貌及其磁各向异性的研究 | 第21-31页 |
| 2.1 引言 | 第21-22页 |
| 2.2 聚二甲基硅氧烷薄膜 | 第22-23页 |
| 2.3 柔性褶皱FeGa薄膜的制备及其表面形貌 | 第23-27页 |
| 2.4 柔性褶皱FeGa薄膜的静态磁性 | 第27-28页 |
| 2.5 柔性褶皱FeGa薄膜的磁各向异性及其机理 | 第28-30页 |
| 2.6 本章总结 | 第30-31页 |
| 第三章 柔性褶皱FeCoTa/PDMS薄膜磁各向异性与高频磁性的研究 | 第31-43页 |
| 3.1 引言 | 第31-32页 |
| 3.2 柔性褶皱FeCoTa薄膜的制备 | 第32-33页 |
| 3.3 PDMS衬底预应变对薄膜磁各向异性和共振频率的调控 | 第33-38页 |
| 3.3.1 PDMS衬底预应变对薄膜表面形貌的调控 | 第33-34页 |
| 3.3.2 PDMS衬底预应变对薄膜磁性的调控 | 第34-36页 |
| 3.3.3 PDMS衬底预应变对薄膜高频性质的调控 | 第36-38页 |
| 3.4 倾斜溅射角度对薄膜磁各向异性的调控 | 第38-41页 |
| 3.4.1 倾斜溅射角度对薄膜形貌的调控 | 第38-39页 |
| 3.4.2 倾斜溅射角度对薄膜磁性的调控 | 第39-40页 |
| 3.4.3 倾斜溅射角度对薄膜高频性质的调控 | 第40-41页 |
| 3.5 本章小结 | 第41-43页 |
| 第四章 柔性FeCoTa/PVDF薄膜磁各向异性的温度稳定性研究 | 第43-53页 |
| 4.1 引言 | 第43-44页 |
| 4.2 聚偏氟乙烯薄膜 | 第44-45页 |
| 4.3 以PVDF为衬底的柔性FeCoTa薄膜 | 第45-51页 |
| 4.3.1 无倾斜溅射生长柔性FeCoTa薄膜 | 第45-46页 |
| 4.3.2 倾斜溅射生长柔性FeCoTa薄膜 | 第46-49页 |
| 4.3.3 光刻胶层对磁性薄膜的束缚 | 第49-51页 |
| 4.4 本章小结 | 第51-53页 |
| 第五章 总结与展望 | 第53-55页 |
| 5.1 本论文总结 | 第53-54页 |
| 5.2 展望 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-61页 |
| 作者简历及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-65页 |
