基于纳米压印的超材料近红外吸收器制备研究
| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 1 引言 | 第10-28页 |
| ·超材料近完美吸收器 | 第10-15页 |
| ·局域等离激元共振 | 第12-13页 |
| ·影响LSPP共振频率的因素 | 第13-15页 |
| ·基于LSPR的超材料吸收器 | 第15页 |
| ·纳米压印技术简介 | 第15-25页 |
| ·热纳米压印 | 第17-19页 |
| ·紫外固化纳米压印 | 第19-20页 |
| ·微接触纳米压印 | 第20-21页 |
| ·纳米压印存在的问题 | 第21-25页 |
| ·本文主要研究内容及创新点 | 第25-28页 |
| 2 数值模拟计算研究 | 第28-36页 |
| ·基于有限元方法COMSOL软件 | 第28-29页 |
| ·结构设计与COMSOL建模 | 第29-31页 |
| ·结果 | 第31-36页 |
| 3 使用紫外纳米压印技术制备超材料红外吸收器 | 第36-60页 |
| ·实验设备与材料 | 第36-37页 |
| ·吸收器制备过程 | 第37-46页 |
| ·基底准备 | 第37-38页 |
| ·PDMS模板制备 | 第38-41页 |
| ·紫外固化纳米压印 | 第41-42页 |
| ·反应离子刻蚀 | 第42-43页 |
| ·金属沉积与剥离 | 第43-46页 |
| ·UV-NIL压印的结果与分析 | 第46-55页 |
| ·实验参数对结构的影响 | 第46-51页 |
| ·压印参数对结构的影响 | 第46-49页 |
| ·刻蚀参数对结构的影响 | 第49-51页 |
| ·吸收器的金属颗粒结构 | 第51-55页 |
| ·吸收性能的测试 | 第55-60页 |
| 4 纳米压印技术应用于石墨烯器件 | 第60-68页 |
| ·石墨烯的物理特性及制备 | 第60-62页 |
| ·使用纳米压印技术制备石墨烯微纳结构 | 第62-64页 |
| ·石墨烯的转移制备 | 第62-63页 |
| ·石墨烯的微纳结构制备 | 第63-64页 |
| ·石墨烯的表征 | 第64-68页 |
| 5 结论与展望 | 第68-72页 |
| ·结论 | 第68-69页 |
| ·展望 | 第69-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第76页 |
