| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-33页 |
| ·引言 | 第13页 |
| ·薄膜晶体管概论 | 第13-17页 |
| ·薄膜晶体管的研究历史概述 | 第13-15页 |
| ·薄膜晶体管的工作原理概述 | 第15-17页 |
| ·非晶铟镓锌氧薄膜晶体管技术概论 | 第17-25页 |
| ·铟镓锌氧的材料特性 | 第17-21页 |
| ·非晶铟镓锌氧薄膜晶体管技术的典型优势 | 第21-23页 |
| ·非晶铟镓锌氧薄膜晶体管技术的发展与应用前景 | 第23-25页 |
| ·本论文的主要研究工作 | 第25-27页 |
| 参考文献 | 第27-33页 |
| 第二章 非晶铟镓锌氧薄膜晶体管的制备及电学性能表征 | 第33-45页 |
| ·非晶铟镓锌氧薄膜晶体管的制备方法与器件结构概述 | 第33-35页 |
| ·非晶铟镓锌氧薄膜晶体管的工艺制程 | 第35-37页 |
| ·非晶铟镓锌氧薄膜晶体管的电学性能表征 | 第37-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 参考文献 | 第42-45页 |
| 第三章 非晶铟镓锌氧薄膜晶体管的欧姆接触特性研究 | 第45-72页 |
| ·薄膜晶体管欧姆接触特性的研究背景与意义 | 第45页 |
| ·基于沟道电阻法的非晶铟镓锌氧薄膜晶体管接触电阻研究 | 第45-54页 |
| ·基于SKPM法的非晶铟镓锌氧薄膜晶体管接触特性研究 | 第54-66页 |
| ·SKPM测试方法概述 | 第54-55页 |
| ·SKPM测试系统简介 | 第55-59页 |
| ·使用SKPM提取非晶铟镓锌氧薄膜晶体管的接触电阻 | 第59-62页 |
| ·非晶铟镓锌氧薄膜晶体管接触特性的物理分析 | 第62-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-72页 |
| 第四章 非晶铟镓锌氧薄膜晶体管的低频噪声谱研究 | 第72-99页 |
| ·薄膜晶体管低频噪声的研究背景 | 第72-74页 |
| ·薄膜晶体管中1/f噪声的起源 | 第74-80页 |
| ·载流子数涨落理论 | 第74-76页 |
| ·迁移率涨落理论 | 第76-77页 |
| ·统一理论 | 第77-80页 |
| ·低频噪声测试平台的搭建 | 第80-84页 |
| ·非晶铟镓锌氧薄膜晶体管的低频噪声特性表征 | 第84-93页 |
| ·非晶铟镓锌氧薄膜晶体管低频噪声的频谱特征 | 第85-86页 |
| ·非晶铟镓锌氧薄膜晶体管低频噪声的起源 | 第86-88页 |
| ·非晶铟镓锌氧薄膜晶体管的低频噪声与界面特性 | 第88-93页 |
| ·本章小结 | 第93-94页 |
| 参考文献 | 第94-99页 |
| 第五章 总结与展望 | 第99-102页 |
| 致谢 | 第102-103页 |
| 发表论文目录 | 第103-105页 |
