| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-25页 |
| ·概述 | 第12-13页 |
| ·超硬质涂层的分类 | 第13-14页 |
| ·纳米多层结构膜 | 第14-15页 |
| ·纳米晶复合膜 | 第15-18页 |
| ·纳米晶复合膜的分类 | 第15-16页 |
| ·纳米复合膜的形成原理 | 第16-17页 |
| ·需要解决的问题 | 第17-18页 |
| ·纳米复合薄膜的制备技术 | 第18-24页 |
| ·离子镀原理和发展 | 第18-19页 |
| ·多弧离子镀技术 | 第19-22页 |
| ·离子束辅助沉积技术 | 第22-24页 |
| ·课题研究的目的和意义 | 第24-25页 |
| 第2章 实验设备和方法 | 第25-34页 |
| ·实验设备 | 第25页 |
| ·实验材料的选择和预处理 | 第25-27页 |
| ·镀膜 | 第27-28页 |
| ·薄膜结构与性能的表征 | 第28-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 基体脉冲偏压对离子束辅助Ti-Cu-N纳米复合膜的影响 | 第34-47页 |
| ·在304不锈钢基体上沉积Ti-Cu-N纳米复合膜 | 第34-39页 |
| ·Ti-Cu-N纳米复合膜的Cu含量与化学键 | 第34-35页 |
| ·Ti-Cu-N纳米复合膜的结构 | 第35-37页 |
| ·Ti-Cu-N纳米复合膜的表面性能 | 第37-38页 |
| ·Ti-Cu-N纳米复合膜的机械性能 | 第38-39页 |
| ·在M2高速钢基体上沉积Ti-Cu-N纳米复合膜 | 第39-46页 |
| ·Ti-Cu-N纳米复合膜中的Cu含量和化学键 | 第39-40页 |
| ·Ti-Cu-N纳米复合膜的结构 | 第40-43页 |
| ·Ti-Cu-N纳米复合膜的表面性能 | 第43-45页 |
| ·Ti-Cu-N纳米复合膜的机械性能 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 离子源放电电流对离子束辅助Ti-Cu-N纳米复合膜的影响 | 第47-60页 |
| ·在304不锈钢基体上沉积Ti-Cu-N纳米复合膜 | 第47-52页 |
| ·Ti-Cu-N纳米复合膜的Cu含量与化学键 | 第47-48页 |
| ·Ti-Cu-N纳米复合膜的结构 | 第48-50页 |
| ·Ti-Cu-N纳米复合膜的表面性能 | 第50-51页 |
| ·Ti-Cu-N纳米复合膜的机械性能 | 第51-52页 |
| ·在M2高速钢基体上沉积Ti-Cu-N纳米复合膜 | 第52-58页 |
| ·Ti-Cu-N纳米复合膜的Cu含量与化学键 | 第52-54页 |
| ·Ti-Cu-N纳米复合膜的结构 | 第54-56页 |
| ·Ti-Cu-N纳米复合膜的表面性能 | 第56-58页 |
| ·Ti-Cu-N纳米复合膜的机械性能 | 第58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 结论 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-71页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和获得的科研成果 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
