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Ca(Mg1/3Ta2/3)O3/CaTiO3异质薄膜的制备及介电性能研究

摘要第1-6页
Abstract第6-9页
第1章 绪论第9-21页
   ·介电薄膜第9-15页
     ·钙钛矿结构介电薄膜第9-10页
     ·介电薄膜的应用第10-11页
     ·介电薄膜的制备技术第11-15页
   ·异质叠层介电薄膜的研究现状与趋势第15-18页
     ·异质叠层介电薄膜的制备与表征第15-16页
     ·异质叠层介电薄膜的界面理论研究第16-18页
   ·研究目的、意义及内容第18-21页
第2章 CMTa-CT 薄膜的制备与结构、性能分析第21-34页
   ·实验原料与设备第21-22页
   ·CMTa-CT 介电薄膜的制备第22-30页
     ·前驱体溶液的制备第22-27页
     ·CMTa-CT 薄膜的制备第27-30页
   ·CMTa-CT 薄膜的结构与性能表征第30-34页
     ·薄膜微观结构与形貌表征第30-32页
     ·薄膜的介电性能测试第32-34页
第3章 CMTa 和 CT 薄膜的制备与性能研究第34-46页
   ·CT 薄膜的制备与性能研究第34-36页
   ·CMTa 薄膜的制备与性能研究第36-39页
   ·不同厚度 CMTa 薄膜的制备与性能研究第39-45页
   ·本章小结第45-46页
第4章 CMTa-CT 异质薄膜的界面与性能研究第46-55页
   ·底层对 CMTa-CT 异质薄膜的结构与性能影响第46-50页
   ·界面对 CMTa/CT 异质薄膜的结构与性能影响第50-54页
   ·本章小结第54-55页
第5章 结论第55-57页
参考文献第57-64页
硕士期间发表论文、申请专利及项目情况第64-65页
致谢第65页

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