双频容性耦合等离子体中电子无碰撞反弹共振加热
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-10页 |
| 目录 | 第10-13页 |
| CONTENTS | 第13-15页 |
| 图表目录 | 第15-20页 |
| 主要符号表 | 第20-24页 |
| 1 绪论 | 第24-46页 |
| ·低温等离子体与微电子工业 | 第24-27页 |
| ·常见的低温等离子体源 | 第27-31页 |
| ·单频容性耦合等离子体源(CCP) | 第27-28页 |
| ·感性耦合等离子体源(ICP) | 第28-29页 |
| ·电子回旋共振等离子体源(ECR) | 第29-30页 |
| ·双频容性耦合等离子体源(DF-CCP) | 第30-31页 |
| ·CCP中电子加热机制研究综述 | 第31-42页 |
| ·解析研究 | 第32-35页 |
| ·实验研究 | 第35-39页 |
| ·数值模拟 | 第39-42页 |
| ·磁化CCP | 第42页 |
| ·CCP中电子加热机制研究存在的不足 | 第42-45页 |
| ·本文研究内容与安排 | 第45-46页 |
| 2 CCP的实验诊断方法综述 | 第46-59页 |
| ·静电探针诊断 | 第47-51页 |
| ·朗缪尔单探针 | 第47-48页 |
| ·发卡探针 | 第48-50页 |
| ·双探针 | 第50-51页 |
| ·光谱研究 | 第51-57页 |
| ·发射光谱 | 第52-53页 |
| ·吸收光谱与光腔衰荡光谱 | 第53-56页 |
| ·激光诱导荧光光谱 | 第56-57页 |
| ·质谱法 | 第57-59页 |
| 3 电正性氩气放电中电子反弹共振加热 | 第59-79页 |
| ·引言 | 第59页 |
| ·实验装置、诊断手段与模拟简述 | 第59-64页 |
| ·实验装置简述 | 第59-63页 |
| ·PIC/MCC模拟简述 | 第63-64页 |
| ·结果与讨论 | 第64-77页 |
| ·反弹共振加热的实验证据 | 第64-67页 |
| ·反弹共振加热的物理图像及分析 | 第67-75页 |
| ·反弹共振加热对等离子体空间分布的影响 | 第75-77页 |
| ·本章小结 | 第77-79页 |
| 4 放电参数对电子反弹共振加热的影响 | 第79-95页 |
| ·引言 | 第79页 |
| ·气压影响 | 第79-84页 |
| ·高频功率及频率影响 | 第84-86页 |
| ·低频功率及频率影响 | 第86-94页 |
| ·本章小结 | 第94-95页 |
| 5 电负性氧气放电中电子反弹共振加热 | 第95-117页 |
| ·引言 | 第95-96页 |
| ·实验装置、诊断手段与模拟简述 | 第96-99页 |
| ·实验装置简述 | 第96-97页 |
| ·PIC/MCC模拟简述 | 第97-99页 |
| ·结果与讨论 | 第99-115页 |
| ·电极间隙影响 | 第99-102页 |
| ·高频功率影响 | 第102-106页 |
| ·高频频率影响 | 第106-108页 |
| ·气压影响 | 第108-110页 |
| ·反弹共振加热对等离子体空间分布的影响 | 第110-111页 |
| ·电正性和电负性放电对比研究 | 第111-115页 |
| ·本章小结 | 第115-117页 |
| 6 结论与展望 | 第117-121页 |
| 参考文献 | 第121-133页 |
| 攻读博士学位期间科研项目及科研成果 | 第133-136页 |
| 创新点摘要 | 第136-137页 |
| 致谢 | 第137-138页 |
| 作者简介 | 第138-139页 |
