多晶硅薄膜电池的激光晶化技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-14页 |
| ·引言 | 第7-8页 |
| ·太阳能电池基础 | 第8-12页 |
| ·太阳电池原理 | 第8-10页 |
| ·太阳能电池的分类 | 第10-12页 |
| ·研究内容 | 第12-14页 |
| 第2章 氢化非晶硅薄膜的制备 | 第14-24页 |
| ·非晶硅薄膜的制备原理 | 第14-18页 |
| ·非晶硅薄膜理论基础 | 第14-17页 |
| ·氢化非晶硅的特性 | 第17-18页 |
| ·氢化非晶硅薄膜的制备 | 第18-24页 |
| ·氢化非晶硅薄膜的制备方法 | 第18-19页 |
| ·PECVD法制备非晶硅薄膜系统 | 第19-20页 |
| ·PECVD反应机理 | 第20-24页 |
| 第3章 激光晶化制备原理及有限元分析 | 第24-36页 |
| ·激光晶化的制备原理 | 第24-27页 |
| ·激光晶化理论 | 第24-25页 |
| ·激光晶化制备多晶硅薄膜 | 第25-27页 |
| ·ANSYS有限元分析激光晶化中的温度场 | 第27-36页 |
| ·传热学原理 | 第28-29页 |
| ·有限元模型的构建 | 第29-31页 |
| ·施加载荷计算 | 第31-32页 |
| ·稳态热分析 | 第32-36页 |
| 第4章 激光晶化表征与参数分析 | 第36-49页 |
| ·实验表征 | 第36-37页 |
| ·激光晶化效果分析 | 第37-49页 |
| ·晶化过程 | 第37-41页 |
| ·晶化率 | 第41-43页 |
| ·晶粒尺寸 | 第43-45页 |
| ·表面形貌 | 第45-49页 |
| 第5章 结论与展望 | 第49-51页 |
| ·结论 | 第49页 |
| ·展望 | 第49-51页 |
| 参考文献 | 第51-54页 |
| 致谢 | 第54页 |
