面向纳米压印光刻设备的精密定位工作台的设计方法与实验
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| ·课题背景与研究意义 | 第10-11页 |
| ·国内外发展现状 | 第11-20页 |
| ·定位平台的研究与特点 | 第11-14页 |
| ·运动学建模 | 第14-15页 |
| ·刚度分析 | 第15-17页 |
| ·静力学与动力学分析 | 第17-18页 |
| ·误差分析建模与运动学标定 | 第18-20页 |
| ·回顾总结与课题提出 | 第20页 |
| ·本文主要研究内容 | 第20-22页 |
| 第二章 精密定位工作台的设计 | 第22-32页 |
| ·引言 | 第22页 |
| ·机构设计 | 第22-27页 |
| ·重力和预紧力仿真分析 | 第27-29页 |
| ·样机开发 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-32页 |
| 第三章 运动学分析 | 第32-50页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·偏置式伪刚体模型及分析 | 第32-35页 |
| ·非偏置式伪刚体模型及分析 | 第35-38页 |
| ·运动学逆解分析 | 第36-37页 |
| ·运动学正解分析 | 第37页 |
| ·速度分析 | 第37-38页 |
| ·修正系数矩阵 | 第38-39页 |
| ·有限元仿真 | 第39-42页 |
| ·工作空间分析 | 第42-45页 |
| ·工作空间的边界约束条件 | 第43-44页 |
| ·实例仿真 | 第44-45页 |
| ·优化设计 | 第45-48页 |
| ·优化参数及优化过程 | 第46-47页 |
| ·优化结果仿真 | 第47-48页 |
| ·分辨率分析及仿真 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 静刚度建模 | 第50-76页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·输入刚度分析 | 第50-53页 |
| ·输入刚度建模 | 第50-53页 |
| ·实例仿真 | 第53页 |
| ·静刚度分析的柔度矩阵法 | 第53-55页 |
| ·从动臂平行四边形柔度分析 | 第55-68页 |
| ·不计入横梁柔度 | 第55-57页 |
| ·下端横梁全约束且计入横梁柔度 | 第57页 |
| ·下端横梁中部约束且计入横梁柔度 | 第57-58页 |
| ·实例分析及有限元仿真 | 第58-68页 |
| ·输出刚度分析 | 第68-74页 |
| ·主动臂单元柔度分析 | 第68-69页 |
| ·从动臂单元柔度分析 | 第69-71页 |
| ·末端柔性铰链柔度分析 | 第71页 |
| ·单个支链柔度分析 | 第71-72页 |
| ·精密定位工作台的柔度 | 第72页 |
| ·机构参数对输出刚度的影响 | 第72-74页 |
| ·本章小结 | 第74-76页 |
| 第五章 静力学与动力学分析 | 第76-102页 |
| ·引言 | 第76页 |
| ·静力学分析 | 第76-84页 |
| ·主动臂虚功分析 | 第77-78页 |
| ·主从臂衔接横梁虚功分析 | 第78页 |
| ·从动臂虚功分析 | 第78-79页 |
| ·动平台虚功分析 | 第79-80页 |
| ·柔性铰链虚功分析 | 第80-81页 |
| ·静力学模型 | 第81页 |
| ·实例仿真 | 第81-84页 |
| ·动力学分析 | 第84-100页 |
| ·基于虚功原理的动力学分析 | 第84-93页 |
| ·基于拉格朗日方程的动力学分析 | 第93-97页 |
| ·仿真与比较 | 第97-100页 |
| ·本章小结 | 第100-102页 |
| 第六章 误差源分析及建模 | 第102-118页 |
| ·引言 | 第102页 |
| ·基于递推公式的位置分析 | 第102-103页 |
| ·误差源分析 | 第103-111页 |
| ·基于伪刚体模型的建模误差 | 第103页 |
| ·基于杆长的误差分析 | 第103-105页 |
| ·基于柔性铰链的误差分析 | 第105-110页 |
| ·接触方式误差 | 第110页 |
| ·机构初始姿态误差与支链平行度误差 | 第110-111页 |
| ·重力和预紧力引起的误差 | 第111页 |
| ·综合误差建模 | 第111-114页 |
| ·姿态误差建模 | 第112-114页 |
| ·位置误差建模 | 第114页 |
| ·误差测量和参数辨识 | 第114-116页 |
| ·计算机仿真 | 第116-117页 |
| ·本章小结 | 第117-118页 |
| 第七章 试验研究 | 第118-132页 |
| ·引言 | 第118页 |
| ·试验装置介绍 | 第118页 |
| ·输出特性试验 | 第118-122页 |
| ·模态试验 | 第122-124页 |
| ·静态刚度特性试验 | 第124-131页 |
| ·输入刚度 | 第124-126页 |
| ·输出刚度 | 第126-131页 |
| ·本章小结 | 第131-132页 |
| 第八章 结论与展望 | 第132-134页 |
| ·全文结论 | 第132-133页 |
| ·工作展望 | 第133-134页 |
| 参考文献 | 第134-143页 |
| 攻读博士学位期间参加的科研项目和发表的学术论文 | 第143-145页 |
| 致谢 | 第145页 |
