基于环氧树脂键合MEMS技术的压电振动能量收集器制作
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| ·研究动机 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-14页 |
| ·研究目的及内容 | 第14-16页 |
| 第二章 基本理论 | 第16-37页 |
| ·压电理论 | 第16-20页 |
| ·压电材料 | 第20-24页 |
| ·压电材料概述 | 第20-21页 |
| ·AlN(氮化铝) | 第21-22页 |
| ·PZT(锆钛酸铅) | 第22-24页 |
| ·能量收集理论 | 第24-33页 |
| ·压电收集模式 | 第24-26页 |
| ·能量收集器的谐振频率 | 第26-27页 |
| ·电致阻尼 | 第27-29页 |
| ·机械阻尼 | 第29-31页 |
| ·器件输出分析 | 第31-33页 |
| ·MEMS微加工工艺概述 | 第33-35页 |
| ·MEMS微加工工艺概述 | 第33-34页 |
| ·键合 | 第34-35页 |
| ·剥离 | 第35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 第三章 器件工艺与流程 | 第37-55页 |
| ·器件工艺方案 | 第37页 |
| ·敏感层单项实验 | 第37-48页 |
| ·AlN单项 | 第37-42页 |
| ·PZT的溶胶凝胶制备单项 | 第42-43页 |
| ·PZT的机械抛光法单项 | 第43-47页 |
| ·敏感层制备单项实验小结 | 第47-48页 |
| ·键合单项实验 | 第48-52页 |
| ·导电胶膜的制备实验 | 第48-50页 |
| ·导电胶键合单项 | 第50-52页 |
| ·剥离工艺单项 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第四章 实验流程与测试 | 第55-64页 |
| ·器件实施工艺流程 | 第55-60页 |
| ·器件性能测试 | 第60-61页 |
| ·流片测试结果分析与改进 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62页 |
| ·结论与展望 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 学位论文数据集 | 第69页 |
