| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-26页 |
| ·研究背景与意义 | 第11-13页 |
| ·介电可调薄膜材料及器件的研究进展 | 第13-23页 |
| ·BST 薄膜材料及器件的研究概况 | 第14-19页 |
| ·BST 材料简介 | 第14-16页 |
| ·BST 薄膜材料的研究概况 | 第16-18页 |
| ·BST 薄膜器件的研究概况 | 第18-19页 |
| ·BZN 薄膜材料及器件的研究概况 | 第19-23页 |
| ·BZN 材料简介 | 第19-20页 |
| ·BZN 薄膜材料的研究概况 | 第20-22页 |
| ·BZN 薄膜器件的研究概况 | 第22-23页 |
| ·BZN/BST 复合薄膜的研究概况 | 第23页 |
| ·论文的研究任务和研究内容 | 第23-26页 |
| 第二章 BZN/BST 薄膜材料的研究 | 第26-56页 |
| ·BZN/BST 薄膜样品的制备 | 第26-35页 |
| ·薄膜制备方法、生长基底及靶材的选择 | 第26-29页 |
| ·BZN/BST 薄膜的制备工艺研究 | 第29-35页 |
| ·BZN/BST 薄膜的介电性能优化研究 | 第35-41页 |
| ·BZN/BST 薄膜的界面效应 | 第41-45页 |
| ·BZN/BST 薄膜漏电特性的研究 | 第45-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第三章 BZN/BST 薄膜变容管的研制 | 第56-68页 |
| ·BZN/BST 介质薄膜变容管的结构设计 | 第56-63页 |
| ·变容管基本结构的设计 | 第56-59页 |
| ·变容管电极结构的设计与仿真 | 第59-62页 |
| ·变容管的版图设计 | 第62-63页 |
| ·BZN/BST 薄膜变容管的加工工艺研究 | 第63-67页 |
| ·电极与介质薄膜图形化的工艺研究 | 第63-65页 |
| ·BZN/BST 薄膜变容管的加工过程 | 第65-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第四章 BZN/BST 薄膜变容管的性能研究 | 第68-96页 |
| ·BZN/BST 薄膜变容管的性能优化 | 第68-73页 |
| ·BZN/BST 薄膜变容管在射频器件中的应用验证 | 第73-75页 |
| ·BZN/BST 薄膜变容管的微波特性研究 | 第75-95页 |
| ·变容管的高频测试方法 | 第75-77页 |
| ·单端口方法测试变容管的高频性能 | 第77-86页 |
| ·单端口测试样品的制备与测试 | 第77-79页 |
| ·单端口方法的测试结果及分析 | 第79-86页 |
| ·双端口方法测试变容管的高频性能 | 第86-95页 |
| ·双端口测试样品的制备与测试 | 第86-87页 |
| ·双端口方法的测试结果及分析 | 第87-95页 |
| ·本章小结 | 第95-96页 |
| 第五章 X 波段 BZN/BST 薄膜移相器的研制 | 第96-112页 |
| ·BZN/BST 薄膜移相器的设计与仿真 | 第96-106页 |
| ·BZN/BST 薄膜移相器的制备与测试 | 第106-111页 |
| ·本章小结 | 第111-112页 |
| 第六章 结论 | 第112-115页 |
| ·主要结论 | 第112-113页 |
| ·创新点 | 第113页 |
| ·未来工作的建议 | 第113-115页 |
| 致谢 | 第115-116页 |
| 参考文献 | 第116-127页 |
| 攻博期间的论文发表情况 | 第127-128页 |