CMOS兼容的微机械热电堆红外探测器的设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| ·红外技术及红外探测器技术 | 第9-12页 |
| ·红外技术 | 第9页 |
| ·红外探测器 | 第9-12页 |
| ·热电堆红外探测器 | 第12-13页 |
| ·微机械热电堆红外探测器 | 第13-17页 |
| ·MEMS | 第13-15页 |
| ·CMOS | 第15-16页 |
| ·CMOS 兼容的微机械热电堆红外探测器 | 第16-17页 |
| ·研究内容及意义 | 第17-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 第二章 微机械热电堆红外探测器的设计 | 第19-33页 |
| ·微机械热电堆红外探测器的工作原理 | 第19-20页 |
| ·塞贝克效应 | 第19-20页 |
| ·工作原理 | 第20页 |
| ·微机械热电堆红外探测器的性能参数 | 第20-21页 |
| ·微机械热电堆红外探测器的材料选择 | 第21-23页 |
| ·热偶条 | 第22-23页 |
| ·吸收层 | 第23页 |
| ·微机械热电堆红外探测器的结构设计 | 第23-28页 |
| ·微机械热电堆红外探测器的结构类型 | 第23-25页 |
| ·共振腔吸收结构 | 第25-26页 |
| ·微机械热电堆红外探测器的结构 | 第26-28页 |
| ·微机械热电堆红外探测器的尺寸优化与有限元分析 | 第28-32页 |
| ·尺寸优化 | 第28-31页 |
| ·有限元分析 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 微机械热电堆红外探测器的工艺流程与制作 | 第33-63页 |
| ·微机械热电堆红外探测器的版图设计 | 第33-39页 |
| ·整体版图 | 第33-34页 |
| ·分层版图 | 第34-39页 |
| ·微机械热电堆红外探测器的关键工艺单项实验 | 第39-52页 |
| ·隔离槽的刻蚀与填充 | 第40-44页 |
| ·隔离槽平坦化 | 第44-47页 |
| ·多晶硅离子注入 | 第47-49页 |
| ·最小线条连接金属的光刻 | 第49-52页 |
| ·微机械热电堆红外探测器的工艺流程与制作 | 第52-61页 |
| ·本章小结 | 第61-63页 |
| 第四章 结论与展望 | 第63-65页 |
| ·本文主要研究工作 | 第63-64页 |
| ·工作展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-70页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第70-71页 |
| 1、论文 | 第70页 |
| 2、参与的科研项目 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
