纳米晶金属氧化物半导体气体传感器及其检测特性研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| ·纳米金属氧化物气体传感器研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| ·金属氧化物气体传感器的国内外研究现状 | 第9-10页 |
| ·金属氧化物气体传感器目前存在的问题 | 第10页 |
| ·纳米材料研究概况 | 第10-14页 |
| ·纳米材料发展史和研究现状 | 第10-12页 |
| ·纳米材料的基本特征 | 第12-14页 |
| ·金属氧化物纳米材料的研究状况 | 第14页 |
| ·论文的选题依据及主要研究内容 | 第14-15页 |
| ·本章小结 | 第15-16页 |
| 2 金属氧化物气体传感器的主要特性和气敏机理 | 第16-25页 |
| ·金属氧化物气体传感器的分类 | 第16-18页 |
| ·金属氧化物气体传感器的特性参数 | 第18-20页 |
| ·金属氧化物半导体气体传感器的气敏机理 | 第20-24页 |
| ·表面电阻控制型敏感机理 | 第20-22页 |
| ·体电阻控制型敏感机理 | 第22-23页 |
| ·非电阻型敏感机理 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 3 纳米材料的制备及气敏元件的制作 | 第25-31页 |
| ·纳米晶气敏材料的主要制备方法概述 | 第25-26页 |
| ·纳米粉体材料的制备实验 | 第26-27页 |
| ·实验试剂 | 第26页 |
| ·表征方法及实验仪器 | 第26-27页 |
| ·纳米粉体材料的制备 | 第27页 |
| ·纳米粉体的结构表征 | 第27-29页 |
| ·X 射线衍射分析(XRD) | 第27-28页 |
| ·电子显微镜分析(SEM) | 第28-29页 |
| ·气敏元件制作实验 | 第29-30页 |
| ·小结 | 第30-31页 |
| 4 气敏性能测试及分析 | 第31-61页 |
| ·实验室气体测试平台及测试方法 | 第31-33页 |
| ·实验室气体测试平台组成及特点 | 第31页 |
| ·实验测试方法及步骤 | 第31-33页 |
| ·气敏性能测试及分析 | 第33-56页 |
| ·灵敏度—工作电压特性 | 第33-38页 |
| ·灵敏度—气体浓度特性 | 第38-44页 |
| ·灵敏度—线性度分析 | 第44-47页 |
| ·响应—恢复时间曲线 | 第47-52页 |
| ·分辨力特性 | 第52页 |
| ·重复性分析 | 第52-54页 |
| ·长期稳定性 | 第54-56页 |
| ·纳米晶气敏元件的响应特性分析 | 第56-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 5 结论 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 附录 | 第68页 |
| A. 作者在攻读学位期间发表的论文目录 | 第68页 |
| B. 作者在攻读学位期间参加的科研项目 | 第68页 |
