| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-11页 |
| 1 绪论 | 第11-23页 |
| ·研究背景 | 第11页 |
| ·近红外光谱仪器及其微型化的研究现状与趋势 | 第11-17页 |
| ·基于传统技术的微小型近红外光谱仪 | 第11-13页 |
| ·基于新原理的微小型近红外光谱仪 | 第13页 |
| ·基于 MOEMS 技术的近红外微型光谱仪 | 第13-16页 |
| ·存在问题 | 第16-17页 |
| ·MOEMS 光栅技术的发展现状 | 第17-20页 |
| ·光栅常数可变式 MOEMS 光栅 | 第17-18页 |
| ·MOEMS 扫描光栅微镜 | 第18-20页 |
| ·研究目标与研究内容 | 第20-21页 |
| ·研究目标 | 第20页 |
| ·论文主要研究内容 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-23页 |
| 2 MOEMS 扫描光栅微镜的结构与相关理论 | 第23-37页 |
| ·MOEMS 扫描光栅微镜 | 第23-28页 |
| ·MOEMS 扫描光栅微镜的结构与工作原理 | 第23-24页 |
| ·MOEMS 扫描光栅微镜驱动机理 | 第24-25页 |
| ·MOEMS 扫描光栅微镜运动模型 | 第25-26页 |
| ·MOEMS 扫描光栅微镜电磁驱动模型建立与分析 | 第26-28页 |
| ·光栅的光学特性 | 第28-33页 |
| ·光栅的色散与分光 | 第28-29页 |
| ·光栅的角色散率 | 第29-30页 |
| ·光栅的线色散率 | 第30页 |
| ·光栅的衍射效率 | 第30-32页 |
| ·光栅分辨率 | 第32页 |
| ·光栅工作波长范围 | 第32-33页 |
| ·MOEMS 扫描光栅微镜磁电角传感器的理论模型 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 3 MOEMS 扫描光栅微镜的设计分析与优化 | 第37-58页 |
| ·MOEMS 扫描光栅微镜的结构设计与优化 | 第37-48页 |
| ·有限元模型分析 | 第37-39页 |
| ·模态分析 | 第39-40页 |
| ·谐响应模拟分析 | 第40-42页 |
| ·应力分析 | 第42-44页 |
| ·稳定性分析 | 第44-45页 |
| ·MOEMS 扫描光栅微镜结构尺寸优化设计 | 第45-48页 |
| ·MOEMS 扫描光栅微镜的角传感器设计分析与优化 | 第48-50页 |
| ·磁电角传感器的设计 | 第48-49页 |
| ·磁电角传感器的灵敏度分析 | 第49-50页 |
| ·MOEMS 扫描光栅微镜光学特性的设计与优化 | 第50-55页 |
| ·光栅分辨率 | 第50-51页 |
| ·光栅衍射效率 | 第51-54页 |
| ·光栅工作波长范围 | 第54-55页 |
| ·MOEMS 扫描光栅微镜主要参数的确定 | 第55-57页 |
| ·驱动结构的主要参数 | 第55-56页 |
| ·角传感器的主要参数 | 第56页 |
| ·光学特性的主要参数 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 4 MOEMS 扫描光栅微镜的加工和封装 | 第58-75页 |
| ·MOEMS 扫描光栅微镜关键加工工艺 | 第58-62页 |
| ·各向异性湿法刻蚀 | 第58-59页 |
| ·电镀 | 第59-60页 |
| ·凸角补偿 | 第60-62页 |
| ·MOEMS 扫描光栅微镜加工工艺流程 | 第62-68页 |
| ·MOEMS 扫描光栅微镜的工艺流程 | 第62-66页 |
| ·MOEMS 扫描光栅微镜的版图设计 | 第66-68页 |
| ·MOEMS 扫描光栅微镜的表征 | 第68-70页 |
| ·MOEMS 扫描光栅微镜机械结构尺寸参数的测试 | 第68页 |
| ·MOEMS 扫描光栅微镜驱动与传感线圈的测试 | 第68-69页 |
| ·MOEMS 扫描光栅微镜的光栅测量 | 第69-70页 |
| ·MOEMS 扫描光栅微镜封装 | 第70-74页 |
| ·永磁体磁轭设计 | 第70页 |
| ·有限元磁场分析 | 第70-72页 |
| ·MOEMS 扫描光栅微镜封装 | 第72-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 5 MOEMS 扫描光栅微镜的控制电路与器件性能测试 | 第75-105页 |
| ·MOEMS 扫描光栅微镜控制电路 | 第75-84页 |
| ·MOEMS 扫描光栅微镜控制电路原理 | 第75-76页 |
| ·角传感器信号检测模块 | 第76-78页 |
| ·反馈控制模块 | 第78-79页 |
| ·可控增益放大模块 | 第79-80页 |
| ·电压跟随器模块 | 第80页 |
| ·电路调试 | 第80-81页 |
| ·各模块电路功能测试 | 第81-84页 |
| ·MOEMS 扫描光栅微镜机电性能测试 | 第84-99页 |
| ·测试实验系统 | 第84-85页 |
| ·谐振频率测试 | 第85-86页 |
| ·扫描性能测试 | 第86-88页 |
| ·角传感器性能测试 | 第88-90页 |
| ·系统 Q 值特性测试 | 第90-91页 |
| ·测试结果分析 | 第91-99页 |
| ·MOEMS 扫描光栅微镜光学特性 | 第99-103页 |
| ·分辨率测试 | 第99-101页 |
| ·光栅衍射效率测试 | 第101-103页 |
| ·杂散光和散射光测量 | 第103页 |
| ·MOEMS 扫描光栅微镜主要性能参数及分析 | 第103-104页 |
| ·本章小结 | 第104-105页 |
| 6 基于 MOEMS 扫描光栅微镜的近红外微型光谱仪原理实验系统 | 第105-119页 |
| ·新型近红外微型光谱仪结构与工作原理 | 第105-106页 |
| ·近红外微型光谱仪的结构与工作原理 | 第105-106页 |
| ·系统设计参数要求 | 第106页 |
| ·光学系统设计 | 第106-109页 |
| ·光学系统的设计流程 | 第106-107页 |
| ·光路设计的结果参数及讨论 | 第107-109页 |
| ·系统各模块设计 | 第109-115页 |
| ·设计要求 | 第109-110页 |
| ·狭缝 | 第110-111页 |
| ·系统准直与成像 | 第111-112页 |
| ·基于扫描光栅微镜的分光扫描系统 | 第112-113页 |
| ·光谱信号探测 | 第113-114页 |
| ·信号采集与电路 | 第114-115页 |
| ·近红外微型光谱仪原理实验系统的装调与测试 | 第115-118页 |
| ·系统装调 | 第115-116页 |
| ·近红外微型光谱仪原理实验系统性能的测试 | 第116页 |
| ·近红外微型光谱仪原理实验系统的实验测试结果与分析 | 第116-118页 |
| ·本章小结 | 第118-119页 |
| 7 结论与展望 | 第119-121页 |
| ·论文工作总结 | 第119-120页 |
| ·主要创新点 | 第120页 |
| ·进一步开展工作的建议与展望 | 第120-121页 |
| 致谢 | 第121-123页 |
| 参考文献 | 第123-129页 |
| 附录 | 第129页 |
| A. 作者在攻读博士学位期间发表论文 | 第129页 |
| B. 申请专利 | 第129页 |
